[實(shí)用新型]一種石英保溫環(huán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920164027.2
• 申請(qǐng)日: 2019-01-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209910389U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏廷福
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): F27D1/00
• 分類號(hào): F27D1/00;H01L21/22
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• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)一種石英保溫環(huán)，其包括由石英纖維布形成的外筒環(huán)和內(nèi)筒環(huán)，內(nèi)筒環(huán)位于外筒環(huán)的空腔內(nèi)，內(nèi)筒環(huán)空腔內(nèi)、以及內(nèi)筒環(huán)和外筒環(huán)之間的空隙內(nèi)填充有石英棉，其中，內(nèi)筒環(huán)由形成外筒環(huán)的石英纖維布向外筒環(huán)空腔內(nèi)翻折形成，翻折后兩端通過(guò)石英纖維線縫制到一起形成環(huán)狀，內(nèi)筒環(huán)空腔內(nèi)、以及內(nèi)筒環(huán)和外筒環(huán)之間的空隙內(nèi)填充的石英棉為層狀壘疊，每層石英棉按照相同角度傾斜壘疊。相較于現(xiàn)有產(chǎn)品，本實(shí)用新型石英保溫環(huán)具有更高的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，能夠長(zhǎng)期保持整體形態(tài)不塌陷、不變形，從而確保安裝到擴(kuò)散爐爐口時(shí)不會(huì)出現(xiàn)局部塌陷或褶皺的問(wèn)題，且該石英保溫環(huán)內(nèi)的石英棉均勻性更好，因而可有效提升爐體保溫效果，進(jìn)一步提升半導(dǎo)體的加工品質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種石英保溫環(huán)。

背景技術(shù)

擴(kuò)散爐爐口需要安置保溫結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)對(duì)爐體保溫，目前市場(chǎng)上這類保溫結(jié)構(gòu)主要是充盈石英棉的保溫條這類產(chǎn)品，這種保溫條雖然使用壽命較長(zhǎng)、成本較低，但該類保溫條內(nèi)石英棉只是簡(jiǎn)單填充，保溫條內(nèi)的石英棉通常均勻性較差，保溫條整體結(jié)構(gòu)剛性強(qiáng)度較差，導(dǎo)致保溫條覆蓋的爐口常留有間隙，這都會(huì)導(dǎo)致?tīng)t體熱量散失，降低了保溫條的密封性和隔熱性，甚至于導(dǎo)致?tīng)t體內(nèi)溫度不均勻，影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的品質(zhì)。

因此，現(xiàn)有技術(shù)有待于進(jìn)一步發(fā)展和進(jìn)步。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種石英保溫環(huán)，該石英保溫環(huán)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度大，確保安裝到擴(kuò)散爐爐口時(shí)不會(huì)出現(xiàn)局部塌陷或褶皺的問(wèn)題，從而很好地填滿爐口，提升爐體保溫效果。

本實(shí)用新型技術(shù)方案如下：

一種石英保溫環(huán)，其中，包括由石英纖維布形成的外筒環(huán)和內(nèi)筒環(huán)，所述內(nèi)筒環(huán)位于外筒環(huán)的空腔內(nèi)，所述內(nèi)筒環(huán)空腔內(nèi)、以及內(nèi)筒環(huán)和外筒環(huán)之間的空隙內(nèi)填充有石英棉，其中，所述內(nèi)筒環(huán)由形成外筒環(huán)的石英纖維布向外筒環(huán)空腔內(nèi)翻折形成，翻折后兩端通過(guò)石英纖維線縫制到一起形成環(huán)狀，所述內(nèi)筒環(huán)空腔內(nèi)、以及內(nèi)筒環(huán)和外筒環(huán)之間的空隙內(nèi)填充的石英棉為層狀壘疊，每層石英棉按照相同角度傾斜壘疊。

所述的石英保溫環(huán)，其中，利用石英纖維線縫制石英纖維布形成外筒環(huán)，其中，所述石英纖維布的厚度為0.5-0.8mm。

所述的石英保溫環(huán)，其中，所述石英保溫環(huán)間隔一定距離設(shè)置縫制點(diǎn)，在縫制點(diǎn)通過(guò)石英纖維線將內(nèi)筒環(huán)和外筒環(huán)縫制連接。

所述的石英保溫環(huán)，其中，所述內(nèi)筒環(huán)空腔內(nèi)填充的石英棉的纖維直徑為12-16μm，所述內(nèi)筒環(huán)和外筒環(huán)之間的空隙內(nèi)填充的石英棉纖維直徑為5-10 μm。

所述的石英保溫環(huán)，其中，內(nèi)筒環(huán)和外筒環(huán)之間空隙內(nèi)填充的石英棉層疊傾斜角度與內(nèi)筒環(huán)空腔內(nèi)石英棉的層疊傾斜角度相反。

所述的石英保溫環(huán)，其中，每層石英棉的厚度為5-15mm。

有益效果

本實(shí)用新型提供一種石英保溫環(huán)，相較于現(xiàn)有產(chǎn)品，本實(shí)用新型石英保溫環(huán)具有更高的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，能夠長(zhǎng)期保持整體形態(tài)不塌陷、不變形，從而確保安裝到擴(kuò)散爐爐口時(shí)不會(huì)出現(xiàn)局部塌陷或褶皺的問(wèn)題，且本實(shí)用新型的石英保溫環(huán)內(nèi)的石英棉均勻性更好，因而可有效提升爐體保溫效果，進(jìn)一步提升半導(dǎo)體的加工品質(zhì)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中石英保溫環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中石英保溫環(huán)的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。