[實用新型]一種石英保溫環

有效

• 申請號: 201920164027.2
• 申請日: 2019-01-30
• 公開（公告）號: CN209910389U
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 顏廷福
• 申請（專利權）人: 青島福潤德微電子設備有限公司
• 主分類號: F27D1/00
• 分類號: F27D1/00;H01L21/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種石英保溫環，其特征在于，包括由石英纖維布形成的外筒環和內筒環，所述內筒環位于外筒環的空腔內，所述內筒環空腔內、以及內筒環和外筒環之間的空隙內填充有石英棉，其中，所述內筒環由形成外筒環的石英纖維布向外筒環空腔內翻折形成，翻折后兩端通過石英纖維線縫制到一起形成環狀，所述內筒環空腔內、以及內筒環和外筒環之間的空隙內填充的石英棉為層狀壘疊，每層石英棉按照相同角度傾斜壘疊。

2.根據權利要求1所述的石英保溫環，其特征在于，利用石英纖維線縫制石英纖維布形成外筒環，其中，所述石英纖維布的厚度為0.5-0.8mm。

3.根據權利要求1所述的石英保溫環，其特征在于，所述石英保溫環間隔一定距離設置縫制點，在縫制點通過石英纖維線將內筒環和外筒環縫制連接。

4.根據權利要求1所述的石英保溫環，其特征在于，所述內筒環空腔內填充的石英棉的纖維直徑為12-16μm，所述內筒環和外筒環之間的空隙內填充的石英棉纖維直徑為5-10μm。

5.根據權利要求1所述的石英保溫環，其特征在于，內筒環和外筒環之間空隙內填充的石英棉層疊傾斜角度與內筒環空腔內石英棉的層疊傾斜角度相反。

6.根據權利要求5所述的石英保溫環，其特征在于，每層石英棉的厚度為5-15mm。