[實用新型]一種多工位的真空排氣臺

有效

• 申請號: 201920142586.3
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN209458077U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 司媛媛;劉純;孟大偉;付憲陽
• 申請（專利權）人: 北京哲勤科技有限公司
• 主分類號: F04B37/02
• 分類號: F04B37/02;F04B39/00;F04B39/12;F04B39/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開一種多工位的真空排氣臺，涉及排氣臺的技術領域，其包括相聯通的離子泵以及真空室，還包括若干個單向閥以及真空壓力計，所述真空室聯通有至少兩根連接管，所述連接管背離真空室的一端設置有用于連接的法蘭。本實用新型具有能夠對多個工位同時抽真空的效果。

技術領域

本實用新型涉及排氣臺的技術領域，尤其是涉及一種多工位的真空排氣臺。

背景技術

真空排氣臺是一種用于抽氣系統，離子泵是其核心部件。對于使用環境的不同，在真空排氣臺上還會設置有多種形式的導管或者是置物室，能夠制造出真空環境。

在現代先進的實驗室中，通常設置有多個需要真空環境的工位。但是現有的真空排氣臺通常是一對一的進行抽真空工作，當多個工位同時需要真空環境時，無法滿足要求。一對一的配置真空排氣臺不僅會造成資源的浪費，而且還會使離子泵的性能過剩。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種多工位的真空排氣臺，其具有能夠對多個工位同時抽真空的效果。

本實用新型的上述目的是通過以下技術方案得以實現的：

一種多工位的真空排氣臺，包括相聯通的離子泵以及真空室，還包括若干個單向閥以及真空壓力計，所述真空室聯通有至少兩根連接管，所述連接管背離真空室的一端設置有用于連接的法蘭。

通過采用上述技術方案，真空室可以同時聯通多個需要真空環境的工位。

本實用新型進一步設置為：所述連接管與所述真空室之間連接有導管，連接管連接于導管的側壁；導管背離真空室的一端封閉形成封閉部，在封閉部處設置有用于封堵導管的封堵系統。

通過采用上述技術方案，封堵系統可以控制導管的啟閉，進而控制導管聯通的數量，以匹配不同數量的工位需求。具有更好的操作性，更加節能。

本實用新型進一步設置為：所述封堵系統包括位于導管內的內凸緣、能夠封堵內凸緣的封蓋件以及與推動封蓋件沿導管的軸向移動推桿；內凸緣位于真空室與所述連接管之間的導管的管壁上，封蓋件位于內凸緣背離真空室的一側，推桿位于封蓋件背離內凸緣的一端并于封蓋件固定相連，推桿垂直貫穿封閉部的兩端并且與封閉部密封滑動連接，在導管內還設置有能夠限制封蓋件向內凸緣移動的限位組件。

通過采用上述技術方案，當開啟導管時，拉動拉桿使封蓋件向封閉部一側移動并使用限位組件對封蓋件限位，保證導管的通常；當關閉導管時，使封蓋件向內凸緣一側移動，在負壓的吸力下，封蓋件自然壓緊在內凸緣上。

本實用新型進一步設置為：所述封蓋件呈內部中空的半球體，位于封蓋件以及內凸緣之間設置有密封墊。

通過采用上述技術方案，半球體具有較好的抗壓能力，當離子泵工作而使真空室內具有交底的壓強時，半球體的封蓋件具有更好的使用性能。

本實用新型進一步設置為：所述封蓋件的開口邊緣設置有向外的翻邊，所述翻邊的直徑與所述導管的管徑一致。

通過采用上述技術方案，相對的面積越大，密封的效果越好。

本實用新型進一步設置為：所述密封墊呈環形，密封墊的內徑與內凸緣的直徑一致；密封墊的外徑與導管的管徑一致。

通過采用上述技術方案，密封墊與內凸緣接觸的部分起到密封作用，故最大化密封墊與內凸緣的接觸面積，起到最好的密封效果，并不使材料浪費。

本實用新型進一步設置為：所述限位組件包括限位件一以及限位件二，所述限位件一呈“L”形，包括垂直于所述封閉部的垂直部以及平行于所述封閉部的平行部，垂直部與封閉部固定相連，限位件二固定于所述封蓋件朝向封閉部的端面上，在限位件二上開設有供平行部插入的插口。