[實用新型]一種多工位的真空排氣臺

有效

• 申請號: 201920142586.3
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN209458077U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 司媛媛;劉純;孟大偉;付憲陽
• 申請（專利權）人: 北京哲勤科技有限公司
• 主分類號: F04B37/02
• 分類號: F04B37/02;F04B39/00;F04B39/12;F04B39/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多工位的真空排氣臺，包括相聯通的離子泵(1)以及真空室(4)，還包括若干個單向閥(9)以及真空壓力計(8)，其特征在于：所述真空室(4)聯通有至少兩根連接管(53)，所述連接管(53)背離真空室(4)的一端設置有用于連接的法蘭。

2.根據權利要求1所述的一種多工位的真空排氣臺，其特征在于：所述連接管(53)與所述真空室(4)之間連接有導管(51)，連接管(53)連接于導管(51)的側壁；導管(51)背離真空室(4)的一端封閉形成封閉部(511)，在封閉部(511)處設置有用于封堵導管(51)的封堵系統(6)。

3.根據權利要求2所述的一種多工位的真空排氣臺，其特征在于：所述封堵系統(6)包括位于導管(51)內的內凸緣(61)、能夠封堵內凸緣(61)的封蓋件(62)以及與推動封蓋件(62)沿導管(51)的軸向移動推桿(63)；內凸緣(61)位于真空室(4)與所述連接管(53)之間的導管(51)的管壁上，封蓋件(62)位于內凸緣(61)背離真空室(4)的一側，推桿(63)位于封蓋件(62)背離內凸緣(61)的一端并于封蓋件(62)固定相連，推桿(63)垂直貫穿封閉部(511)的兩端并且與封閉部(511)密封滑動連接，在導管(51)內還設置有能夠限制封蓋件(62)向內凸緣(61)移動的限位組件(65)。

4.根據權利要求3所述的一種多工位的真空排氣臺，其特征在于：所述封蓋件(62)呈內部中空的半球體，位于封蓋件(62)以及內凸緣(61)之間設置有密封墊（66）。

5.根據權利要求4所述的一種多工位的真空排氣臺，其特征在于：所述封蓋件(62)的開口邊緣設置有向外的翻邊(621)，所述翻邊(621)的直徑與所述導管(51)的管徑一致。

6.根據權利要求5所述的一種多工位的真空排氣臺，其特征在于：所述密封墊（66）呈環形，密封墊（66）的內徑與內凸緣(61)的直徑一致；密封墊（66）的外徑與導管(51)的管徑一致。

7.根據權利要求3所述的一種多工位的真空排氣臺，其特征在于：所述限位組件(65)包括限位件一(651)以及限位件二(652)，所述限位件一(651)呈“L”形，包括垂直于所述封閉部(511)的垂直部(6511)以及平行于所述封閉部(511)的平行部，垂直部(6511)與封閉部(511)固定相連，限位件二(652)固定于所述封蓋件(62)朝向封閉部(511)的端面上，在限位件二(652)上開設有供平行部插入的插口。

8.根據權利要求3所述的一種多工位的真空排氣臺，其特征在于：所述推桿(63)伸出所述導管(51)的一端設置有方便把持的把手(64)。