[實用新型]一種掃頻光源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920133279.9
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN209448214U
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發(fā)明（設計）人: 付紅巖;謝啟浩;陳震旻
• 申請（專利權）人: 清華-伯克利深圳學院籌備辦公室
• 主分類號: H01S5/06
• 分類號: H01S5/06;H01S5/125
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本實用新型實施例提供一種掃頻光源，掃頻光源包括：依次疊層設置的第一電極、第一襯底、第一分布式布拉格反射鏡、有源層和第二電極，所述第二電極位于所述非透光區(qū)域；框架，位于所述第二電極遠離所述第一襯底一側，且位于所述第二電極遠離所述透光區(qū)域一側，所述框架圍繞所述第二電極一周；懸臂梁結構，固定于所述框架上，所述懸臂梁結構包括同層設置且相互連接的支撐膜和至少兩個懸臂梁，所述支撐膜位于所述透光區(qū)域，所述懸臂梁位于所述非透光區(qū)域；第二分布式布拉格反射鏡，固定于所述支撐膜上；壓電結構，固定于所述懸臂梁上。本實用新型實施例提供一種掃頻光源，以實現(xiàn)提供一種新型的掃頻光源。

技術領域

本實用新型實施例涉及光學成像技術，尤其涉及一種掃頻光源。

背景技術

光學相干層析(OCT)是一種非侵入、無創(chuàng)傷的光學成像技術，用于對樣品產(chǎn)生實時的二維橫截面圖像和三維體積圖像。這種技術基于從樣品內(nèi)不同材料層的光反向散射產(chǎn)生微米級分辨率和毫米成像深度的圖像，從而提供關于樣品的結構信息。除了高分辨率之外，光學相干層析的無接觸、無創(chuàng)傷性質(zhì)使其非常適合對諸如生物組織、小動物和工業(yè)材料等樣品進行成像。

光學相干層析(OCT)的主要構架為邁克爾遜干涉儀，利用兩束光相干疊加后的信號來表征物體不同深度的信息，從而得知物體內(nèi)部的形貌結構。目前OCT分為兩大類：時域OCT(TD-OCT)和傅里葉域OCT(FD-OCT)。TD-OCT基于參考臂的機械移動實現(xiàn)軸向掃描來獲得待測物體不同深度的信息，因受制于機械移動的頻率限制掃描速度較低。FD-OCT系統(tǒng)的參考臂固定不動，其基于低相干干涉技術。傅里葉域OCT根據(jù)光源和探測類型可分為兩類：譜域OCT(SD-OCT)和掃頻光源OCT(SS-OCT)。SD-OCT采用寬帶低相干性光源，同時發(fā)射具有多個波長成分的光束，然后利用光柵將這些光分開，不同波長的光被不同的探測器接收(線陣CCD)。SD-OCT的掃描速度受線陣CCD攝像機的讀出速度所限制。SS-OCT采用掃頻光源，將不同波長分散于不同的時間點，并通過單個高速光電探測器進行測量后。由于掃頻激光源的高速掃頻，位于每個分立波長的高峰值功率可以用于對樣品照明，從而可以產(chǎn)生更高的敏感度。

在專利CN105518951B中，掃頻激光源是通過靜電驅(qū)動的方式實現(xiàn)掃頻的。所謂靜電驅(qū)動技術，就是利用電荷間的庫侖力作為驅(qū)動力進行驅(qū)動的技術。由控制電壓建立的電場在兩極之間產(chǎn)生一個靜電力，引起膜片發(fā)生形變彎曲，變形量隨電壓而改變。去掉控制電壓之后，電場力消失，膜片在彈性恢復力的作用下恢復到初始狀態(tài)。但靜電驅(qū)動也有一些缺點，如通常受到1/3規(guī)則的限制，最大偏轉最多為原始氣隙間距的1/3；最具破壞性的缺點是，當吸合效應發(fā)生時，有可能發(fā)生破壞掃頻光源的災難性放電，參考文獻：Mateus C F R,Chang C H,Chrostowski L,et al.Widely tunable torsional optical filter[J].IEEEPhotonics Technology Letters,2002,14(6):819-821.

實用新型內(nèi)容

本實用新型實施例提供一種掃頻光源，以實現(xiàn)提供一種新型的掃頻光源。

本實用新型實施例提供一種掃頻光源，包括透光區(qū)域和非透光區(qū)域，所述非透光區(qū)域圍繞所述透光區(qū)域，包括：

依次疊層設置的第一電極、第一襯底、第一分布式布拉格反射鏡、有源層和第二電極，所述第二電極位于所述非透光區(qū)域；

框架，位于所述第二電極遠離所述第一襯底一側，且位于所述第二電極遠離所述透光區(qū)域一側，所述框架圍繞所述第二電極一周；

懸臂梁結構，固定于所述框架上，所述懸臂梁結構包括同層設置且相互連接的支撐膜和至少兩個懸臂梁，所述支撐膜位于所述透光區(qū)域，所述懸臂梁位于所述非透光區(qū)域；

第二分布式布拉格反射鏡，固定于所述支撐膜上；

壓電結構，固定于所述懸臂梁上。