[實用新型]一種掃頻光源有效
| 申請號： | 201920133279.9 | 申請日： | 2019-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN209448214U | 公開（公告）日： | 2019-09-27 |
| 發明（設計）人： | 付紅巖;謝啟浩;陳震旻 | 申請（專利權）人： | 清華-伯克利深圳學院籌備辦公室 |
| 主分類號： | H01S5/06 | 分類號： | H01S5/06;H01S5/125 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518055 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 第二電極 掃頻 光源 懸臂梁 支撐膜 分布式布拉格反射鏡 本實用新型 非透光區域 懸臂梁結構 透光區域 襯底 第一電極 同層設置 壓電結構 疊層 源層 | ||
1.一種掃頻光源，包括透光區域和非透光區域，所述非透光區域圍繞所述透光區域，其特征在于，包括：
依次疊層設置的第一電極、第一襯底、第一分布式布拉格反射鏡、有源層和第二電極，所述第二電極位于所述非透光區域；
框架，位于所述第二電極遠離所述第一襯底一側，且位于所述第二電極遠離所述透光區域一側，所述框架圍繞所述第二電極一周；
懸臂梁結構，固定于所述框架上，所述懸臂梁結構包括同層設置且相互連接的支撐膜和至少兩個懸臂梁，所述支撐膜位于所述透光區域，所述懸臂梁位于所述非透光區域；
第二分布式布拉格反射鏡，固定于所述支撐膜上；
壓電結構，固定于所述懸臂梁上。
2.根據權利要求1所述的掃頻光源，其特征在于，所述第二分布式布拉格反射鏡以及所述壓電結構均位于所述懸臂梁結構遠離所述第一襯底一側。
3.根據權利要求1所述的掃頻光源，其特征在于，所述第二分布式布拉格反射鏡以及所述壓電結構均位于所述懸臂梁結構與所述第一襯底之間；
所述掃頻光源還包括與所述第一襯底對置的第二襯底，所述第二襯底包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽鄰近所述第一襯底的一側，且所述第二凹槽的開口面積大于所述第一凹槽的開口面積，所述第一凹槽的側壁以及所述第二凹槽的側壁共同構成所述框架；所述第二襯底在所述透光區域設置有出光孔。
4.根據權利要求1所述的掃頻光源，其特征在于，所述框架的俯視形狀包括矩形，所述懸臂梁結構包括四個所述懸臂梁；
每個所述懸臂梁的一端與所述矩形的邊的中點相連接，每個所述懸臂梁的另一端與所述支撐膜相連接；或者，每個所述懸臂梁的一端與所述矩形的拐角相連接，每個所述懸臂梁的另一端與所述支撐膜相連接。
5.根據權利要求1所述的掃頻光源，其特征在于，所述壓電結構包括依次疊層設置的第三電極、壓電薄膜和第四電極。
6.根據權利要求1所述的掃頻光源，其特征在于，沿垂直所述第一襯底的方向，所述支撐膜以及所述懸臂梁的厚度均為L，其中，0.5μm≤L≤1μm。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于清華-伯克利深圳學院籌備辦公室，未經清華-伯克利深圳學院籌備辦公室許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201920133279.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種半導體激光器的驅動控制器
- 下一篇：一種垂直面射型的激光結構
