[實(shí)用新型]硅片花籃

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920132417.1
• 申請(qǐng)日: 2019-01-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209357703U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左國(guó)軍;李廣海
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽(yáng)

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片花籃，包括端板和齒桿，齒桿的下部設(shè)有導(dǎo)流體，導(dǎo)流體相對(duì)于所述齒桿向外延伸的長(zhǎng)度從所述導(dǎo)流體的一端至所述導(dǎo)流體的另一端逐漸增加，導(dǎo)流體的寬度隨導(dǎo)流體的長(zhǎng)度增加而逐漸增加，齒桿為圓柱形，導(dǎo)流體還包括兩個(gè)相交的側(cè)面，側(cè)面上的最長(zhǎng)的邊線與齒桿的外圓相切，兩個(gè)側(cè)面相交處為圓弧，圓弧的半徑小于0.2mm，導(dǎo)流體的兩個(gè)側(cè)面相交線與所述齒桿之間的夾角為2°，導(dǎo)流體的兩個(gè)側(cè)面之間的的夾角為60°，齒桿與所述端板為垂直設(shè)置。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的硅片花籃在制絨后的殘留液體大幅減少，從而使藥效使用周期增長(zhǎng)，同時(shí)縮短了烘干時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶硅太陽(yáng)能硅片的濕法設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅片花籃。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的硅片花籃（載體或片盒）是由六根桿焊接在兩塊底板之間而成的。在傳統(tǒng)的硅片制絨過(guò)程中，需用硅片花籃承載硅片，將裝有硅片的硅片花籃經(jīng)機(jī)械手動(dòng)作進(jìn)入盛有酸液或者堿液的槽體內(nèi)，當(dāng)制絨完成后，機(jī)械手會(huì)將承載硅片的載體提出酸液或者堿液，因硅片載體的側(cè)桿為圓柱結(jié)構(gòu)，無(wú)法聚焦滴液，使得側(cè)桿下方會(huì)形成一排大小不等的液滴，當(dāng)機(jī)械手進(jìn)入下一槽體作業(yè)時(shí)，將上一槽體的殘留液體，帶入下一槽體中，產(chǎn)生酸堿中和反應(yīng)，從而降低藥效使用周期，同時(shí)由于側(cè)桿下方液體殘留多，則延長(zhǎng)了烘干時(shí)間，這在硅片的濕法處理中是極為不便的。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的硅片花籃在制絨過(guò)程中存在的液體殘留過(guò)多的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種硅片花籃，主要對(duì)現(xiàn)有的硅片花籃的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)，讓液體由多滴匯積成一滴自然滴落。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種硅片花籃，所述硅片花籃包括兩個(gè)端板和設(shè)在兩個(gè)端板之間的水平設(shè)置的多個(gè)齒桿，齒桿的下部設(shè)有用于將齒桿上的液體進(jìn)行匯集的導(dǎo)流體。

所述導(dǎo)流體的一端位于齒桿中間，所述導(dǎo)流體自齒桿的中間向齒桿的端部延伸，所述導(dǎo)流體相對(duì)于所述齒桿向外延伸的長(zhǎng)度從所述導(dǎo)流體的一端至所述導(dǎo)流體的另一端逐漸增加。

所述齒桿上設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)流體。

所述導(dǎo)流體的一端位于齒桿一端，所述導(dǎo)流體的另一端位于齒桿另一端，所述導(dǎo)流體相對(duì)于所述齒桿向外延伸的長(zhǎng)度從所述導(dǎo)流體的一端至所述導(dǎo)流體的另一端逐漸增加。

所述導(dǎo)流體的寬度隨導(dǎo)流體的長(zhǎng)度增加而逐漸增加。

所述齒桿為圓柱形，所述導(dǎo)流體包括兩個(gè)相交的側(cè)面，側(cè)面上的最長(zhǎng)的邊線與齒桿的外圓相切。

所述兩個(gè)側(cè)面相交處為圓弧。

所述圓弧的半徑小于0.2mm。

所述導(dǎo)流體的兩個(gè)側(cè)面相交線與所述齒桿之間的夾角為2°；所述導(dǎo)流體的兩個(gè)側(cè)面之間的的夾角為60°。

所述齒桿與所述端板為垂直設(shè)置。

與現(xiàn)有技術(shù)比較，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：本實(shí)用新型的硅片花籃的側(cè)桿的直徑從側(cè)桿的中心至底板逐漸增大后逐漸減小，底板設(shè)有焊接側(cè)桿的缺口，缺口的輪廓與側(cè)桿的直徑吻合且在同一側(cè)設(shè)有與側(cè)桿相切的角，殘留在硅片花籃上的液體在側(cè)桿匯積后從側(cè)桿的最大直徑處自然滴落，使得殘留在硅片花籃上的液體大幅減少，從而使藥效使用周期增長(zhǎng)，同時(shí)縮短了烘干時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型中的硅片花籃的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中的硅片花籃的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型中的齒桿的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型中的齒桿的正面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖以及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的原理及結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。