[實用新型]硅片花籃有效
| 申請號： | 201920132417.1 | 申請日： | 2019-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN209357703U | 公開（公告）日： | 2019-09-06 |
| 發明（設計）人： | 左國軍;李廣海 | 申請（專利權）人： | 常州捷佳創精密機械有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彥;胡朝陽 |
| 地址： | 213000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 導流體 齒桿 硅片花籃 側面 本實用新型 逐漸增加 夾角為 端板 殘留液體 長度增加 垂直設置 生產效率 使用周期 外圓相切 邊線 相交處 相交線 烘干 制絨 相交 延伸 | ||
1.一種硅片花籃，其特征在于，所述硅片花籃包括兩個端板（1）和設在兩個端板之間的水平設置的多個齒桿（2），所述齒桿（2）的下部設有用于將齒桿（2）上的液體進行匯集的導流體（3）。
2.如權利要求1所述的硅片花籃，其特征在于，所述導流體（3）的一端位于齒桿（2）中間，所述導流體（3）的自齒桿（2）的中間向齒桿（2）的端部延伸，所述導流體（3）相對于所述齒桿（2）向外延伸的長度從所述導流體（3）的一端至所述導流體（3）的另一端逐漸增加。
3.如權利要求2所述的硅片花籃，其特征在于，所述齒桿（2）上設有兩個導流體（3）。
4.如權利要求1所述的硅片花籃，其特征在于，所述導流體（3）的一端位于齒桿（2）一端，所述導流體（3）的另一端位于齒桿（2）另一端，所述導流體（3）相對于所述齒桿（2）向外延伸的長度從所述導流體（3）的一端至所述導流體（3）的另一端逐漸增加。
5.如權利要求2或4所述的硅片花籃，其特征在于，所述導流體（3）的寬度隨導流體（3）的長度增加而逐漸增加。
6.如權利要求1所述的硅片花籃，其特征在于，所述齒桿（2）為圓柱形，所述導流體（3）包括兩個相交的側面，側面上的最長的邊線與齒桿（2）的外圓相切。
7.如權利要求6所述的硅片花籃，其特征在于，所述兩個側面相交處為圓弧。
8.如權利要求7所述的硅片花籃，其特征在于，所述圓弧的半徑小于0.2mm。
9.如權利要求6中所述的硅片花籃，其特征在于，所述導流體（3）的兩個側面相交線與所述齒桿（2）之間的夾角為2°；所述導流體（3）的兩個側面之間的夾角為60°。
10.如權利要求1所述的硅片花籃，其特征在于，所述齒桿（2）與所述端板（1）為垂直設置。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
