[實用新型]一種矽晶片吹砂裝置

有效

• 申請號: 201920124803.6
• 申請日: 2019-01-23
• 公開（公告）號: CN209452414U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 范群意
• 申請（專利權）人: 佛山市南海益晶科技有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02
• 代理公司: 武漢明正專利代理事務所(普通合伙) 42241
• 代理人: 張伶俐

1.一種矽晶片吹砂裝置，其特征在于：包括基板(1)、立架(2)、第一滑軌(8)、第二滑軌(9)、第一滑塊(3)、第二滑塊(4)、空氣泵(12)、連接管(15)和氣嘴(13)，所述立架(2)固定于所述基板(1)的其中一側邊，所述立架(2)的上端設置有兩個間隔分布的所述第一滑軌(8)，所述第一滑塊(3)滑動連接于所述第一滑軌(8)，所述第一滑塊(3)的上部設置有兩個間隔分布的所述第二滑軌(9)，所述第二滑塊(4)滑動連接于所述第二滑軌(9)，所述空氣泵(12)安裝于所述第二滑塊(4)的上端，所述氣嘴(13)安裝于所述第二滑塊(4)的下端部，所述空氣泵(12)通過連接管(15)連通于所述氣嘴(13)。

2.如權利要求1所述的一種矽晶片吹砂裝置，其特征在于：所述氣嘴(13)的下部設置有三個不同方向的噴管(14)。

3.如權利要求2所述的一種矽晶片吹砂裝置，其特征在于：所述立架(2)的一端安裝有第一氣缸(10)，所述第一氣缸(10)的輸出端固定于所述第一滑塊(3)。

4.如權利要求3所述的一種矽晶片吹砂裝置，其特征在于：所述第一滑塊(3)的其中一端安裝有第二氣缸(11)，所述第二氣缸(11)的輸出端固定于所述第二滑塊(4)。

5.如權利要求4所述的一種矽晶片吹砂裝置，其特征在于：所述基板(1)上安裝有旋轉電機(5)，所述旋轉電機(5)的輸出端安裝有吸盤組件(6)，所述吸盤組件(6)上設置有多個吸盤(7)。

6.如權利要求5所述的一種矽晶片吹砂裝置，其特征在于：所述吸盤組件(6)連通有負壓泵，所述第一氣缸(10)和第二氣缸(11)均連通有氣泵。

7.如權利要求6所述的一種矽晶片吹砂裝置，其特征在于：所述空氣泵(12)、負壓泵、氣泵和旋轉電機(5)均電連接有控制器。