[實用新型]一種晶圓的激光冷切裝置

有效

• 申請號: 201920122669.6
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN209681421U
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 王祖傳;陳興紅;盧瑾;高媛;陳強
• 申請（專利權）人: 深圳市正和興電子有限公司
• 主分類號: B23K26/14
• 分類號: B23K26/14;B23K26/38;B23K26/142
• 代理公司: 11427 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 陳娟<國際申請>=<國際公布>=<進入國

本實用新型公開了一種晶圓的激光冷切裝置，包括激光切割箱，所述激光切割箱上壁左右兩端對稱設置有電機，所述電機遠離激光切割箱一側輸出軸頂端位置設置有第一皮帶輪，所述激光切割箱上壁中部位置設置有鼓風機，所述激光切割箱內腔上部位置對稱設置有絲桿，所述絲桿位于激光切割箱內腔頂部位置對稱設置有固定桿，所述絲桿位于激光切割箱內腔頂端位置與固定桿轉動連接，所述絲桿外部位置設置有調節塊，本實用新型涉及晶圓激光切割設備技術領域，具體為一種晶圓的激光冷切裝置，達到了解決傳統的激光切割切割效率低下，同時切割過程產生污染的煙氣，切割的碎屑由于高溫容易粘附在設備內部不容易清理問題的目的。

技術領域

本實用新型涉及晶圓激光切割設備技術領域，具體為一種晶圓的激光冷切裝置。

背景技術

激光切割是利用經聚焦的高功率密度激光束照射工件，使被照射的材料迅速熔化、汽化、燒蝕或達到燃點，同時借助與光束同軸的高速氣流吹除熔融物質，從而實現將工件割開。激光切割屬于熱切割方法之一。

大多數有機與無機材料都可以用激光切割。在工業制造系統占有份量很重的金屬加工業，許多金屬材料，不管它是什么樣的硬度，都可以進行無變形切割。當然，對高反射率材料，如金、銀、銅和鋁合金，它們也是好的傳熱導體，因此激光切割很困難，甚至不能切割。激光切割無毛刺、皺折、精度高，優于等離子切割。對許多機電制造行業來說，由于微機程序控制的現代激光切割系統能方便切割不同形狀與尺寸的工件，它往往比沖切、模壓工藝更被優先選用；盡管它加工速度還慢于模沖，但它沒有模具消耗，無須修理模具，還節約更換模具時間，從而節省了加工費用，降低了生產成本，所以從總體上考慮是更合算的。

傳統的激光切割切割效率低下，同時切割過程產生污染的煙氣，切割的碎屑由于高溫容易粘附在設備內部不容易清理。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種晶圓的激光冷切裝置，解決傳統的激光切割切割效率低下，同時切割過程產生污染的煙氣，切割的碎屑由于高溫容易粘附在設備內部不容易清理的問題。

(二)技術方案

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現：一種晶圓的激光冷切裝置，包括激光切割箱，所述激光切割箱上壁左右兩端對稱設置有電機，所述電機遠離激光切割箱一側輸出軸頂端位置設置有第一皮帶輪，所述激光切割箱上壁中部位置設置有鼓風機，所述激光切割箱內腔上部位置對稱設置有絲桿，所述絲桿位于激光切割箱內腔頂部位置對稱設置有固定桿，所述絲桿位于激光切割箱內腔頂端位置與固定桿轉動連接，所述絲桿外部位置設置有調節塊，所述激光切割箱內腔且位于絲桿上部位置設置有滑竿，所述滑竿外壁位置設置有滑塊，所述調節塊上部外壁位置固定連接有第一連接桿，所述第一連接桿位于滑塊一端與滑塊固定連接，所述調節塊底部位置固定連接有第二連接桿，所述固定桿底部位置固定連接有擋板，所述第二連接桿貫穿擋板底部位置固定連接有激光切割頭，所述激光切割箱中部位置設置有通氣管，所述通氣管位于擋板下部位置固定連接有出氣頭，所述激光切割箱內腔靠近中部位置設置有固定框，所述固定框上部位置對稱設置有固定臺，所述固定臺上壁位置設置有固定架，所述激光切割箱內腔底部位置設置有收納箱。

優選的，所述激光切割箱左右兩側外壁靠近中部位置對稱設置有抽氣泵，所述抽氣泵出氣口通過導管連通有空氣凈化箱。

優選的，所述收納箱左側上部位置設置有進水口，所述收納箱右側底部位置設置有出水口。

優選的，所述絲桿位于激光切割箱外部一端固定連接有第二皮帶輪，所述第一皮帶輪和第二皮帶輪通過皮帶傳動連接。

優選的，所述電機外部位置設置有密封罩，所述激光切割箱底部位置設置有滾輪。

優選的，所述固定框位于固定臺外部為鏤空結構。

(三)有益效果