[實用新型]一種晶圓的激光冷切裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920122669.6
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN209681421U
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發(fā)明（設計）人: 王祖?zhèn)?/a>;陳興紅;盧瑾;高媛;陳強
• 申請（專利權）人: 深圳市正和興電子有限公司
• 主分類號: B23K26/14
• 分類號: B23K26/14;B23K26/38;B23K26/142
• 代理公司: 11427 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 陳娟<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種晶圓的激光冷切裝置，包括激光切割箱(1)，其特征在于：所述激光切割箱(1)上壁左右兩端對稱設置有電機(2)，所述電機(2)遠離激光切割箱(1)一側輸出軸頂端位置設置有第一皮帶輪(3)，所述激光切割箱(1)上壁中部位置設置有鼓風機(4)，所述激光切割箱(1)內腔上部位置對稱設置有絲桿(5)，所述絲桿(5)位于激光切割箱(1)內腔頂部位置對稱設置有固定桿(6)，所述絲桿(5)位于激光切割箱(1)內腔頂端位置與固定桿(6)轉動連接，所述絲桿(5)外部位置設置有調節(jié)塊(7)，所述激光切割箱(1)內腔且位于絲桿(5)上部位置設置有滑竿(8)，所述滑竿(8)外壁位置設置有滑塊(9)，所述調節(jié)塊(7)上部外壁位置固定連接有第一連接桿(10)，所述第一連接桿(10)位于滑塊(9)一端與滑塊(9)固定連接，所述調節(jié)塊(7)底部位置固定連接有第二連接桿(11)，所述固定桿(6)底部位置固定連接有擋板(12)，所述第二連接桿(11)貫穿擋板(12)底部位置固定連接有激光切割頭(13)，所述激光切割箱(1)中部位置設置有通氣管(14)，所述通氣管(14)位于擋板(12)下部位置固定連接有出氣頭(15)，所述激光切割箱(1)內腔靠近中部位置設置有固定框(16)，所述固定框(16)上部位置對稱設置有固定臺(17)，所述固定臺(17)上壁位置設置有固定架(18)，所述激光切割箱(1)內腔底部位置設置有收納箱(19)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓的激光冷切裝置，其特征在于：所述激光切割箱(1)左右兩側外壁靠近中部位置對稱設置有抽氣泵(20)，所述抽氣泵(20)出氣口通過導管連通有空氣凈化箱(21)。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓的激光冷切裝置，其特征在于：所述收納箱(19)左側上部位置設置有進水口(22)，所述收納箱(19)右側底部位置設置有出水口(23)。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓的激光冷切裝置，其特征在于：所述絲桿(5)位于激光切割箱(1)外部一端固定連接有第二皮帶輪(24)，所述第一皮帶輪(3)和第二皮帶輪(24)通過皮帶傳動連接。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓的激光冷切裝置，其特征在于：所述電機(2)外部位置設置有密封罩(25)，所述激光切割箱(1)底部位置設置有滾輪(26)。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓的激光冷切裝置，其特征在于：所述固定框(16)位于固定臺(17)外部為鏤空結構。