[實用新型]一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置

有效

• 申請號: 201920121559.8
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN209199891U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 馬躍;尤健;劉國東;張厚根
• 申請（專利權）人: 大連地拓重工有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，包括：泵架本體、集成管路、集成電路和真空泵，所述泵架本體由碳鋼和不銹鋼型材組焊而成的矩形框架，分上下兩層，所述集成管路包括真空管路、制程冷卻水管路和氮氣管路，所述集成電路包括強電系統和弱電系統，所述真空泵包括泵體A和泵體B，泵體A布置在泵架本體上層，泵體B布置在泵架本體下層，所述泵體A和泵體B四個底腳部位均設置有支撐固定腳。

2.根據權利要求1所述的一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，其特征在于，所述泵架本體表面采用防靜電噴塑處理，泵架本體的不銹鋼型材內部空腔用作電纜線槽，所述泵架本體尺寸為：長度150~400cm，寬度135cm，高度200cm，所述泵架本體下層高度為50cm。

3.根據權利要求1所述的一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，其特征在于，所述真空管路包括真空管路進氣管和真空管路排氣管，所述真空管路進氣管配置閘板閥、流量計、壓力計和傳感器。

4.根據權利要求1所述的一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，其特征在于，所述制程冷卻水管路包括給水管路和回水管路，每臺真空泵各配置一條制程冷卻水管路，所述給水管路和回水管路分別通過軟管與真空泵連接，并使用喉箍緊固，所述制程冷卻水管路均布置在真空泵右側。

5.根據權利要求4所述的一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，其特征在于，所述給水管路預裝有一個球閥，所述回水管路預裝有閥組，所述閥組包括壓力計、流量計、溫度計、球閥。

6.根據權利要求1所述的一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，其特征在于，所述強電系統包括動力電纜、工業插座和工業插頭，所述動力電纜一端連接工業插頭，與真空泵自帶工業插座連接，動力電纜另一端連接外部電源箱，所述外部電源箱通過安裝螺釘固定在泵架本體框架的左側，電源箱的電纜布置在泵架本體下層的不銹鋼型材的內部空腔里。

7.根據權利要求1所述的一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，其特征在于，所述弱電系統包括從真空泵接口到裝置外部接口的信號線和控制電路，所述控制電路布置在泵架本體上層的不銹鋼型材的內部空腔里。

8.根據權利要求1所述的一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，其特征在于，所述真空泵之間的間距為45cm。

9.根據權利要求1所述的一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，其特征在于，所述泵體A頂部的進氣口與真空管路進氣管通過法蘭連接，所述泵體A后面的排氣口與真空管路排氣管通過快速卡箍連接，所述泵體B后面的進氣口與真空管路進氣管通過法蘭連接，所述泵體B后面的排氣口與真空管路排氣管通過快速卡箍連接。

10.根據權利要求1所述的一種用于半導體生產設備二次配的集成裝置，其特征在于，所述泵體A與氮氣管路通過VCR管接頭連接，所述泵體B與氮氣管路通過卡套式管接頭連接，所述泵體A型號為IH1000真空泵，泵體B為型號A103P真空泵，所述氮氣管路均布置在真空泵后側。