[實用新型]一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920121414.8
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN209577257U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 汪良恩;伍銀輝
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽安芯電子科技股份有限公司
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02
• 代理公司: 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 陳國俊

本實用新型公開了一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭，屬于半導(dǎo)體晶圓光刻膠技術(shù)領(lǐng)域。包括吸頭、吸頭底座和緩沖片，所述吸頭固定在吸頭底座上，吸頭和吸頭底座組合成圓形凸臺，凸臺中心設(shè)有貫穿的真空口，所述吸頭外表面設(shè)有一層緩沖片，所述緩沖片采用泡沫材料，緩沖片的外表面上設(shè)有槽口，內(nèi)表面為光滑平整面；本實用新型通過在涂布機(jī)吸頭上設(shè)置一層緩沖片，減少晶片在作業(yè)過程中與吸頭的硬接觸，減少作業(yè)過程中的破片，增加晶圓的產(chǎn)出率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于半導(dǎo)體晶圓光刻膠技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體晶圓工藝的發(fā)展，目前行業(yè)內(nèi)競爭激烈，產(chǎn)品的產(chǎn)出率直接關(guān)系到市場的競爭強(qiáng)弱，按照目前的光刻膠涂布吸頭設(shè)計，主要為不銹鋼、鋁質(zhì)及鐵氟龍設(shè)計，因質(zhì)地較硬，作業(yè)過程中材料在真空吸附時經(jīng)常造成硅晶片隱裂破片，機(jī)械良率下滑嚴(yán)重。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中缺陷與不足的問題，本實用新型提出了一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭，通過在涂布機(jī)吸頭上設(shè)置一層緩沖片，減少晶片在作業(yè)過程中與吸頭的硬接觸，減少作業(yè)過程中的破片，增加晶圓的產(chǎn)出率。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為：

一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭, 包括吸頭、吸頭底座和緩沖片，所述吸頭固定在吸頭底座上，吸頭和吸頭底座組合成圓形凸臺，凸臺中心設(shè)有貫穿的真空口，所述吸頭外表面設(shè)有一層緩沖片，所述緩沖片采用泡沫材料，緩沖片的外表面上設(shè)有槽口，內(nèi)表面為光滑平整面。

進(jìn)一步的，所述吸頭和吸頭底座采用鐵氟龍材質(zhì)。

進(jìn)一步的，所述泡沫材料采用細(xì)膩、軟質(zhì)材料。

進(jìn)一步的，所述槽口包括相對真空口外十字交叉的直線槽口，以及與直線槽口交叉布置的若干環(huán)形槽口。

進(jìn)一步的，所述吸頭外表面為平整面。

進(jìn)一步的，所述緩沖片與吸頭采用膠粘。

進(jìn)一步的，所述緩沖片直徑與待加工的晶圓直徑相同。

本實用新型具有如下有益效果：本實用新型在吸頭外表面設(shè)置緩沖片，可以緩沖晶片在晶圓涂布機(jī)上由于瞬間吸附造成的內(nèi)傷，從而減少作業(yè)過程中的晶片破損，提高晶圓產(chǎn)出率。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1右視圖；

圖3為A-A截面圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。

如圖1所示，一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭, 包括吸頭1、吸頭底座2和緩沖片3，所述吸頭1固定在吸頭底座2上，吸頭1和吸頭底座2組合成圓形凸臺，凸臺中心設(shè)有貫穿的真空口11，所述吸頭1外表面設(shè)有一層緩沖片3，所述緩沖片3采用泡沫材料，緩沖片3的外表面上設(shè)有槽口，內(nèi)表面為光滑平整面。

上述設(shè)計在吸頭1外表面增加緩沖片3，可以緩沖晶片在晶圓涂布機(jī)上由于瞬間吸附造成的內(nèi)傷，從而減少作業(yè)過程中的晶片破損，提高晶圓產(chǎn)出率。

所述吸頭1和吸頭底座2采用鐵氟龍材質(zhì)，保證吸頭1的使用壽命。

所述泡沫材料采用細(xì)膩、軟質(zhì)材料，可以更好地起到緩沖作用，從而防止作業(yè)過程中的晶圓破片。

所述槽口包括相對真空口11外十字交叉的直線槽口31，以及與直線槽口31交叉布置的若干環(huán)形槽口32，可以更有效均勻地對晶片進(jìn)行光刻膠涂布。

所述吸頭1外表面為平整面，緩沖片3與吸頭1采用膠粘，確保緩沖片3與吸頭1粘合穩(wěn)固。