[實(shí)用新型]一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920121414.8 | 申請(qǐng)日： | 2019-01-24 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN209577257U | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 汪良恩;伍銀輝 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 安徽安芯電子科技股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B05C13/02 | 分類(lèi)號(hào)： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300 | 代理人： | 陳國(guó)俊 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 國(guó)省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 吸頭 緩沖片 涂布機(jī) 底座 晶圓 本實(shí)用新型 新型半導(dǎo)體 作業(yè)過(guò)程 光滑平整 泡沫材料 凸臺(tái)中心 圓形凸臺(tái) 產(chǎn)出率 內(nèi)表面 硬接觸 真空口 槽口 晶片 破片 半導(dǎo)體 貫穿 | ||
1.一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭，其特征在于：包括吸頭、吸頭底座和緩沖片，所述吸頭固定在吸頭底座上，吸頭和吸頭底座組合成圓形凸臺(tái)，凸臺(tái)中心設(shè)有貫穿的真空口，所述吸頭外表面設(shè)有一層緩沖片，所述緩沖片采用泡沫材料，緩沖片的外表面上設(shè)有槽口，內(nèi)表面為光滑平整面。
2.如權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭，其特征在于：所述吸頭和吸頭底座采用鐵氟龍材質(zhì)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭，其特征在于：所述泡沫材料采用細(xì)膩、軟質(zhì)材料。
4.如權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭，其特征在于：所述槽口包括相對(duì)真空口外十字交叉的直線槽口，以及與直線槽口交叉布置的若干環(huán)形槽口。
5.如權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭，其特征在于：所述吸頭外表面為平整面。
6.如權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭，其特征在于：所述緩沖片與吸頭采用膠粘。
7.如權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體晶圓涂布機(jī)吸頭，其特征在于：所述緩沖片直徑與待加工的晶圓直徑相同。
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