[實(shí)用新型]一種用于Foup的定位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920116868.6
• 申請(qǐng)日: 2019-01-23
• 公開（公告）號(hào): CN209282183U
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳高
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海福賽特機(jī)器人有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 陶金龍;張磊

1.一種用于Foup的定位裝置，其特征在于，包括：設(shè)于設(shè)備上的一框形承載板，所述承載板的框形開口用于放置不同類型的Foup，所述承載板的左右兩側(cè)設(shè)有第一定位單元，所述承載板的后側(cè)設(shè)有第二定位單元；其中，所述第一定位單元用于定位第一類型的Foup，所述第二定位單元用于定位第二類型的Foup。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于Foup的定位裝置，其特征在于，所述第一定位單元包括分設(shè)于所述承載板左右兩側(cè)表面上的一對(duì)第一定位銷。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于Foup的定位裝置，其特征在于，所述第一定位銷垂直向上設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于Foup的定位裝置，其特征在于，所述第一定位銷與分設(shè)于所述第一類型的Foup底部左右兩側(cè)的一對(duì)第一定位孔對(duì)應(yīng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于Foup的定位裝置，其特征在于，所述第二定位單元包括設(shè)于所述承載板的后側(cè)框壁上的一對(duì)第二定位銷。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于Foup的定位裝置，其特征在于，所述第二定位銷垂直向上設(shè)置，所述第二定位銷通過其側(cè)部與所述承載板的后側(cè)框壁相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于Foup的定位裝置，其特征在于，所述第二定位銷與設(shè)于所述第二類型的Foup底部后側(cè)的一對(duì)第二定位孔對(duì)應(yīng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的用于Foup的定位裝置，其特征在于，還包括第三定位單元，所述第三定位單元設(shè)于所述承載板的前側(cè)框壁上，用于與所述第二定位單元配合，一起對(duì)第二類型的Foup進(jìn)行定位。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于Foup的定位裝置，其特征在于，所述第三定位單元為彈性擋塊。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于Foup的定位裝置，其特征在于，所述承載板的左右兩側(cè)表面上還設(shè)有拉手。