[實用新型]一種水平轉移矽晶片的裝置

有效

• 申請號: 201920112648.6
• 申請日: 2019-01-23
• 公開（公告）號: CN209515629U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 李翔
• 申請（專利權）人: 佛山市南海益晶科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 武漢明正專利代理事務所(普通合伙) 42241
• 代理人: 張伶俐

本實用新型公開了一種水平轉移矽晶片的裝置，包括箱體，所述箱體內設有空腔，所述空腔內的底部轉動連接有轉動桿，所述轉動桿的上端貫穿空腔內的頂部并延伸至箱體的上端，所述空腔內的底部一側固定有保護箱，所述保護箱內的一端側壁上安裝有伺服電機，所述伺服電機的輸出軸末端固定有連接桿，所述連接桿的一端貫穿保護箱內的一端側壁并延伸至保護箱的一側。本實用新型通過對水平轉移裝置的改進，解決了現有的矽晶片生產過程中水平轉移時效率低下的問題，并且通過夾持塊和夾持板可以對矽晶片穩定夾持，還能通過第二螺釘更換不同規格的夾持裝置，提高了生產效率，降低了破損率，節省了成本，方便使用。

技術領域

本實用新型涉及矽晶片加工的技術領域，尤其涉及一種水平轉移矽晶片的裝置。

背景技術

矽晶，即硅晶，硅的結晶體，分為單晶硅和多晶硅，單晶硅可以用來制作晶圓，晶圓是制造集成電路的基本原料；而高純多晶硅是電子工業和太陽能光伏產業的基礎原料。多晶硅是生產單晶硅的直接原料，是當代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉換等半導體器件的電子信息基礎材料，被稱為“微電子大廈的基石”。

但是，現有的矽晶片生產過程中水平轉移時效率低下，導致生產工作效率低下，增加了工作人員的勞動強度，增加了成本，并且現有的水平轉移設備不能對矽晶片進行穩定夾持，導致破損率居高不下，還不能根據生產需要更換合適的夾持裝置，為此，我們提出一種水平轉移矽晶片的裝置來解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種水平轉移矽晶片的裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種水平轉移矽晶片的裝置，包括箱體，所述箱體內設有空腔，所述空腔內的底部轉動連接有轉動桿，所述轉動桿的上端貫穿空腔內的頂部并延伸至箱體的上端，所述空腔內的底部一側固定有保護箱，所述保護箱內的一端側壁上安裝有伺服電機，所述伺服電機的輸出軸末端固定有連接桿，所述連接桿的一端貫穿保護箱內的一端側壁并延伸至保護箱的一側，所述連接桿的一端固定有第二錐形齒輪，所述轉動桿上固定有第一錐形齒輪，且第一錐形齒輪和第二錐形齒輪相互嚙合，所述箱體的上端設有轉動裝置，所述轉動裝置的上端設有機械臂，所述機械臂的一端設有夾持裝置。

優選地，所述轉動裝置包括設置在箱體上端的轉動板，所述箱體的上端設有圓形滑槽，所述圓形滑槽內安裝有四個弧形滑塊，四個弧形滑塊的上端共同固定在轉動板的下端，所述轉動桿的上端固定在轉動板的下端，所述機械臂的下端固定有安裝板，所述安裝板通過四個第一螺釘安裝在轉動板的上端。

優選地，所述夾持裝置包括設置在機械臂一側的固定板，所述固定板上貫穿設有兩個第二螺釘，所述機械臂的一側設有與第二螺釘對應的螺紋通孔，且第二螺釘的一端延伸至螺紋通孔內，所述固定板的一側下端固定有連接板，所述連接板的一側安裝有夾持塊，所述固定板的一側轉動連接有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的一端轉動連接有夾持板，所述夾持板的一端轉動連接在固定板的一側，且固定板與夾持塊和連接板相對應。

優選地，所述夾持板的一側安裝有橡膠層。

優選地，所述箱體的下端四角均固定有支撐塊。

優選地，所述夾持塊采用耐高溫硅膠制成。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、通過伺服電機、轉動桿、第一錐形齒輪、第二錐形齒輪和轉動裝置的配合，使用伺服電機帶動轉動盤轉動，解決了現有的矽晶片生產過程中水平轉移時效率低下的問題，實現了提高伸生產效率的目的，降低了工作人員的勞動強度；

2、通過支撐臂、第二螺釘和夾持裝置的配合，解決了現有的水平轉移設備不能對矽晶片進行穩定夾持的問題，實現了降低破損率的目的，并且通過第二螺釘，可以更換不同規格的夾持裝置，降低了成本，方便使用；