[實用新型]一種水平轉移矽晶片的裝置

有效

• 申請號: 201920112648.6
• 申請日: 2019-01-23
• 公開（公告）號: CN209515629U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 李翔
• 申請（專利權）人: 佛山市南海益晶科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 武漢明正專利代理事務所(普通合伙) 42241
• 代理人: 張伶俐

1.一種水平轉移矽晶片的裝置，包括箱體(2)，其特征在于：所述箱體(2)內設有空腔，所述空腔內的底部轉動連接有轉動桿(1)，所述轉動桿(1)的上端貫穿空腔內的頂部并延伸至箱體(2)的上端，所述空腔內的底部一側固定有保護箱(10)，所述保護箱(10)內的一端側壁上安裝有伺服電機(11)，所述伺服電機(11)的輸出軸末端固定有連接桿，所述連接桿的一端貫穿保護箱(10)內的一端側壁并延伸至保護箱(10)的一側，所述連接桿的一端固定有第二錐形齒輪(9)，所述轉動桿(1)上固定有第一錐形齒輪(8)，且第一錐形齒輪(8)和第二錐形齒輪(9)相互嚙合，所述箱體(2)的上端設有轉動裝置，所述轉動裝置的上端設有機械臂(6)，所述機械臂(6)的一端設有夾持裝置。

2.根據權利要求1所述的一種水平轉移矽晶片的裝置，其特征在于，所述轉動裝置包括設置在箱體(2)上端的轉動板(4)，所述箱體(2)的上端設有圓形滑槽(20)，所述圓形滑槽(20)內安裝有四個弧形滑塊(3)，四個弧形滑塊(3)的上端共同固定在轉動板(4)的下端，所述轉動桿(1)的上端固定在轉動板(4)的下端，所述機械臂(6)的下端固定有安裝板(7)，所述安裝板(7)通過四個第一螺釘(5)安裝在轉動板(4)的上端。

3.根據權利要求1所述的一種水平轉移矽晶片的裝置，其特征在于，所述夾持裝置包括設置在機械臂(6)一側的固定板(17)，所述固定板(17)上貫穿設有兩個第二螺釘(18)，所述機械臂(6)的一側設有與第二螺釘(18)對應的螺紋通孔(19)，且第二螺釘(18)的一端延伸至螺紋通孔(19)內，所述固定板(17)的一側下端固定有連接板(14)，所述連接板(14)的一側安裝有夾持塊(13)，所述固定板(17)的一側轉動連接有電動伸縮桿(16)，所述電動伸縮桿(16)的一端轉動連接有夾持板(15)，所述夾持板(15)的一端轉動連接在固定板(17)的一側，且固定板(17)與夾持塊(13)和連接板(14)相對應。

4.根據權利要求3所述的一種水平轉移矽晶片的裝置，其特征在于，所述夾持板(15)的一側安裝有橡膠層。

5.根據權利要求1所述的一種水平轉移矽晶片的裝置，其特征在于，所述箱體(2)的下端四角均固定有支撐塊(12)。

6.根據權利要求3所述的一種水平轉移矽晶片的裝置，其特征在于，所述夾持塊(13)采用耐高溫硅膠制成。