[實用新型]一種矽晶片冷卻晾干裝置

有效

• 申請號: 201920112618.5
• 申請日: 2019-01-23
• 公開（公告）號: CN209515613U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 孫奇志
• 申請（專利權）人: 佛山市南海益晶科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18
• 代理公司: 武漢明正專利代理事務所(普通合伙) 42241
• 代理人: 張伶俐

1.一種矽晶片冷卻晾干裝置，包括車體(7)，其特征在于：所述車體(7)的上端設有凹槽(17)，所述凹槽(17)內的底部可拆卸連接有支撐板(11)，所述支撐板(11)的上端固定有承載板(15)，所述承載板(15)的上端固定有四個豎桿(6)，同一側的兩個豎桿(6)為一組，同一組內的兩個豎桿(6)的一側共同等間距固定有多個橫桿(10)，且同一組內的兩個豎桿(6)的上端共同固定有橫板(1)，同一組內的兩個豎桿(6)的一側共同可拆卸連接有固定板(12)，其中一個固定板(12)的一側貫穿設有搖把(13)，所述搖把(13)的一端固定有轉動輥(14)，所述轉動輥(14)的一端固定有轉動桿，所述轉動桿的一端轉動連接在另一個固定板(12)的一側，所述轉動輥(14)上等間距固定有多個連接桿(4)，所述連接桿(4)的一端固定有放置板(3)，所述放置板(3)的一側設有豁口，所述豁口內的三個側壁上均設有限位槽(5)。

2.根據權利要求1所述的一種矽晶片冷卻晾干裝置，其特征在于，其中一個固定板(12)上等間距設有多個插孔(19)，所述轉動輥(14)的一側等間距設有多個和插孔(19)對應的盲孔，其中一個插孔(19)內貫穿設有插桿(20)，所述插桿(20)的一端延伸至其中一個盲孔內。

3.根據權利要求1所述的一種矽晶片冷卻晾干裝置，其特征在于，其中一個限位槽(5)內的一端側壁上設有螺紋通孔，所述螺紋通孔內貫穿設有螺桿(22)，所述螺桿(22)的一端固定有轉動塊(2)。

4.根據權利要求1所述的一種矽晶片冷卻晾干裝置，其特征在于，兩個固定板(12)上均設有四個第一通孔，四個豎桿(6)上均設有兩個和第一通孔對應的第一螺紋盲孔，所述第一通孔內貫穿設有第二螺釘(18)，所述第二螺釘(18)的一端延伸至對應的第一螺紋盲孔內。

5.根據權利要求1所述的一種矽晶片冷卻晾干裝置，其特征在于，所述支撐板(11)上設有兩個第二通孔，所述凹槽(17)內的底部設有兩個和第二通孔對應的第二螺紋盲孔，所述第二通孔內貫穿設有第一螺釘(16)，所述第一螺釘(16)的下端延伸至第二螺紋盲孔內。

6.根據權利要求1所述的一種矽晶片冷卻晾干裝置，其特征在于，所述車體(7)的下端四角均固定有連接件(8)，所述連接件(8)上安裝有滾輪(9)。