[實用新型]一種矽晶片的硬度檢測裝置

有效

• 申請號: 201920112183.4
• 申請日: 2019-01-23
• 公開（公告）號: CN209820983U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 陳正青
• 申請（專利權）人: 佛山市南海益晶科技有限公司
• 主分類號: G01N3/40
• 分類號: G01N3/40;G01N3/04
• 代理公司: 42241 武漢明正專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 張伶俐

1.一種矽晶片的硬度檢測裝置，包括底座(7)，其特征在于：所述底座(7)的上端固定有動力裝置(4)，所述動力裝置(4)的上端安裝有控制箱(1)，所述控制箱(1)的下端安裝有硬度測試壓頭(3)，所述底座(7)的上端等間距固定有多個緩沖裝置，多個緩沖裝置的上端共同設有連接板(5)，所述連接板(5)的上端設有移動臺(13)，所述移動臺(13)的上端兩側均設有滑槽，所述滑槽內安裝有兩個滑塊(12)，所述滑塊(12)上設有夾持裝置，所述滑槽內的一端側壁上貫穿設有螺桿(10)，所述螺桿(10)的一端固定有轉動輪(8)，兩個轉動輪(8)之間通過傳動帶(9)傳動連接，其中一個螺桿(10)的一端轉動連接在其中一個滑槽內的另一端側壁上，另一個螺桿(10)的一端貫穿另一個滑槽內的另一端側壁并延伸至移動臺(13)的一端，且該螺桿(10)的一端固定有轉盤，所述螺桿(10)上設有正向螺紋和反向螺紋，其中一個滑塊(12)螺紋套接在螺桿(10)上設有正向螺紋的一端，另一個滑塊(12)螺紋套接在螺桿(10)上設有反向螺紋的一端，所述移動臺(13)的下端設有四個凹槽，所述凹槽內設有移動裝置。

2.根據權利要求1所述的一種矽晶片的硬度檢測裝置，其特征在于，所述移動裝置包括設置在凹槽內底部的電動伸縮桿(14)，所述凹槽內的相對側壁上均設有移動槽，所述移動槽內均安裝有移動塊(16)，兩個移動塊(16)之間共同固定有連接塊(17)，所述連接塊(17)的下端設有軌輪(15)，所述連接板(5)的上端設有兩個放置槽，同一側的兩個軌輪(15)為一組，同一組的兩個軌輪(15)均安裝在放置槽內。

3.根據權利要求1所述的一種矽晶片的硬度檢測裝置，其特征在于，所述緩沖裝置包括等間距固定在底座(7)上端的多個固定桿(6)，所述固定桿(6)內設有空腔，所述空腔內的底部固定有第二彈簧(23)，所述第二彈簧(23)的上端固定有固定塊(22)，所述固定塊(22)的上端固定有推桿(21)，所述推桿(21)的一端貫穿空腔內的一端側壁并延伸至固定桿(6)的上端，所述推桿(21)的上端固定在連接板(5)的下端。

4.根據權利要求1所述的一種矽晶片的硬度檢測裝置，其特征在于，所述夾持裝置包括設置在滑塊(12)上端的固定板(11)，所述固定板(11)上貫穿設有兩個連接桿(19)，同一端的兩個固定板(11)為一組，同一組的四個連接桿(19)的一端共同固定有移動板(20)，所述連接桿(19)上套設有第一彈簧(18)，所述第一彈簧(18)的一端固定在移動板(20)的一側，所述第一彈簧(18)的另一端固定在固定板(11)的一側，所述連接桿(19)的另一端固定有限位塊。

5.根據權利要求2所述的一種矽晶片的硬度檢測裝置，其特征在于，所述軌輪(15)上包覆有橡膠層。

6.根據權利要求1所述的一種矽晶片的硬度檢測裝置，其特征在于，所述控制箱(1)的一側安裝有顯示屏(2)。