[實用新型]一種矽晶片的硬度檢測裝置

有效

• 申請號: 201920112183.4
• 申請日: 2019-01-23
• 公開（公告）號: CN209820983U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 陳正青
• 申請（專利權）人: 佛山市南海益晶科技有限公司
• 主分類號: G01N3/40
• 分類號: G01N3/40;G01N3/04
• 代理公司: 42241 武漢明正專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 張伶俐

本實用新型公開了一種矽晶片的硬度檢測裝置，包括底座，所述底座的上端固定有動力裝置，所述動力裝置的上端安裝有控制箱，所述控制箱的下端安裝有硬度測試壓頭，所述底座的上端等間距固定有多個緩沖裝置，多個緩沖裝置的上端共同設有連接板，所述連接板的上端設有移動臺，所述移動臺的上端兩側均設有滑槽，所述滑槽內安裝有兩個滑塊，所述滑塊上設有夾持裝置，所述滑槽內的一端側壁上貫穿設有螺桿。本實用新型能夠將不同大小的矽晶片穩定固定，防止矽晶片測試時移位導致測量結果誤差較大，方便根據測試需求將矽晶片移動，且能夠防止固定時夾持過度將矽晶片損壞，同時能對矽晶片進行緩沖保護。

技術領域

本實用新型涉及硬度檢測技術領域，尤其涉及一種矽晶片的硬度檢測裝置。

背景技術

所謂硬度，就是材料抵抗更硬物壓入其表面的能力。根據試驗方法和適應范圍的不同，硬度單位可分為布氏硬度、維氏硬度、洛氏硬度、顯微維氏硬度等許多種，不同的單位有不同的測試方法，適用于不同特性的材料或場合，硬度測試是檢測材料性能的重要指標之一，也是最快速最經濟的試驗方法之一。之所以能成為力學性能試驗的常用方法，是因為硬度測試能反映出材料在化學成分、組織結構和處理工藝上的差異。常被作為監督手段應用于各行各業。

現有的硬度測試裝置不方便將矽晶片固定，容易在測試時移位，導致測試誤差較大，且測試時沒有緩沖，與矽晶片直接接觸容易將矽晶片壓壞，為此，我們提出了一種矽晶片的硬度檢測裝置來解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種矽晶片的硬度檢測裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種矽晶片的硬度檢測裝置，包括底座，所述底座的上端固定有動力裝置，所述動力裝置的上端安裝有控制箱，所述控制箱的下端安裝有硬度測試壓頭，所述底座的上端等間距固定有多個緩沖裝置，多個緩沖裝置的上端共同設有連接板，所述連接板的上端設有移動臺，所述移動臺的上端兩側均設有滑槽，所述滑槽內安裝有兩個滑塊，所述滑塊上設有夾持裝置，所述滑槽內的一端側壁上貫穿設有螺桿，所述螺桿的一端固定有轉動輪，兩個轉動輪之間通過傳動帶傳動連接，其中一個螺桿的一端轉動連接在其中一個滑槽內的另一端側壁上，另一個螺桿的一端貫穿另一個滑槽內的另一端側壁并延伸至移動臺的一端，且該螺桿的一端固定有轉盤，所述螺桿上設有正向螺紋和反向螺紋，其中一個滑塊螺紋套接在螺桿上設有正向螺紋的一端，另一個滑塊螺紋套接在螺桿上設有反向螺紋的一端，所述移動臺的下端設有四個凹槽，所述凹槽內設有移動裝置。

優選地，所述移動裝置包括設置在凹槽內底部的電動伸縮桿，所述凹槽內的相對側壁上均設有移動槽，所述移動槽內均安裝有移動塊，兩個移動塊之間共同固定有連接塊，所述連接塊的下端設有軌輪，所述連接板的上端設有兩個放置槽，同一側的兩個軌輪為一組，同一組的兩個軌輪均安裝在放置槽內。

優選地，所述緩沖裝置包括等間距固定在底座上端的多個固定桿，所述固定桿內設有空腔，所述空腔內的底部固定有第二彈簧，所述第二彈簧的上端固定有固定塊，所述固定塊的上端固定有推桿，所述推桿的一端貫穿空腔內的一端側壁并延伸至固定桿的上端，所述推桿的上端固定在連接板的下端。

優選地，所述夾持裝置包括設置在滑塊上端的固定板，所述固定板上貫穿設有兩個連接桿，同一端的兩個固定板為一組，同一組的四個連接桿的一端共同固定有移動板，所述連接桿上套設有第一彈簧，所述第一彈簧的一端固定在移動板的一側，所述第一彈簧的另一端固定在固定板的一側，所述連接桿的另一端固定有限位塊。

優選地，所述軌輪上包覆有橡膠層。

優選地，所述控制箱的一側安裝有顯示屏。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：