[實用新型]一種多功能wafer載盤有效
| 申請號： | 201920104229.8 | 申請日： | 2019-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN209465356U | 公開（公告）日： | 2019-10-08 |
| 發明（設計）人： | 郭祖福 | 申請（專利權）人： | 湘能華磊光電股份有限公司 |
| 主分類號： | B07C5/04 | 分類號： | B07C5/04;B07C5/02;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 長沙七源專利代理事務所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 鄭雋;吳婷 |
| 地址： | 423038 湖*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 載盤 固定主體 工件固定機構 本實用新型 固定鎖板 晶元 固定鐵板 固定鐵條 六棱柱狀 嵌入安裝 現有裝置 整體外觀 活動栓 磁鐵 螺絲 改進 資金 | ||
1.一種多功能wafer載盤，包括：載盤固定主體(1)、內載盤(2)、工件固定機構(3)、固定鎖板(301)、磁體固定鐵條(302)、活動栓(303)、磁鐵(304)、固定鐵板(305)；其特征在于：所述載盤固定主體(1)的整體外觀呈六棱柱狀，且內載盤(2)嵌入安裝在載盤固定主體(1)上，內載盤(2)與載盤固定主體(1)通過螺絲相連接；所述工件固定機構(3)設置在載盤固定主體(1)及內載盤(2)的上方，且工件固定機構(3)由固定鎖板(301)、磁體固定鐵條(302)、活動栓(303)、磁鐵(304)、固定鐵板(305)組成；所述固定鎖板(301)位于載盤固定主體(1)及內載盤(2)的上方，且固定鎖板(301)與載盤固定主體(1)、內載盤(2)為一體式結構；所述磁體固定鐵條(302)安裝在固定鎖板(301)的一側；所述活動栓(303)的一端嵌入安裝在磁體固定鐵條(302)的后端，且活動栓(303)的另一端貫穿固定鎖板(301)，固定鎖板(301)與活動栓(303)通過套入方式活動連接；所述固定鐵板(305)通過螺釘安裝在磁體固定鐵條(302)的上方；所述磁鐵(304)安裝在固定鐵板(305)的兩側，且磁鐵(304)與磁體固定鐵條(302)通過磁性吸合。
2.根據權利要求1所述的一種多功能wafer載盤，其特征在于：所述內載盤(2)的整體外觀呈圓環狀，且內載盤(2)通過與載盤固定主體(1)的螺絲連接方式設置為拆卸裝置。
3.根據權利要求1所述的一種多功能wafer載盤，其特征在于：所述載盤固定主體(1)上開設有用于容納內載盤(2)的圓形凹槽，且內載盤(2)安裝后上表面與載盤固定主體(1)的上表面平齊。
4.根據權利要求1所述的一種多功能wafer載盤，其特征在于：所述工件固定機構(3)在載盤固定主體(1)、內載盤(2)的上方呈環形陣列狀分布，工件固定機構(3)在載盤固定主體(1)、內載盤(2)的上方均設置有三處。
5.根據權利要求1所述的一種多功能wafer載盤，其特征在于：所述磁體固定鐵條(302)通過固定鎖板(301)與活動栓(303)以套入活動連接的方式設置為滑動裝置。
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