[實用新型]一種多功能wafer載盤

有效

• 申請號: 201920104229.8
• 申請日: 2019-01-22
• 公開（公告）號: CN209465356U
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發明（設計）人: 郭祖福
• 申請（專利權）人: 湘能華磊光電股份有限公司
• 主分類號: B07C5/04
• 分類號: B07C5/04;B07C5/02;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 長沙七源專利代理事務所(普通合伙) 43214
• 代理人: 鄭雋;吳婷

本實用新型提供了一種多功能wafer載盤，包括：載盤固定主體、內載盤、工件固定機構；所述載盤固定主體的整體外觀呈六棱柱狀，且內載盤嵌入安裝在載盤固定主體上，內載盤與載盤固定主體通過螺絲相連接；所述工件固定機構設置在載盤固定主體及內載盤的上方，且工件固定機構由固定鎖板、磁體固定鐵條、活動栓、磁鐵、固定鐵板組成；所述固定鎖板位于載盤固定主體及內載盤的上方；本實用新型通過對多功能wafer載盤的改進，具有結構設計合理，操作方便，效率高，能夠適用于不同尺寸晶元的固定，對不同尺寸晶元固定時無需更換載盤，減少資金投入，降低成本，實用性強的優點，從而有效的解決了現有裝置中出現問題和不足。

技術領域

本實用新型涉及晶粒分選技術領域，更具體的說，尤其涉及一種多功能wafer載盤。

背景技術

分選機在進行晶粒分選時，需要載盤將wafer夾緊并載入挑揀位置。

但是目前行業內生產晶元的尺寸包括2寸或者4寸甚至6寸，而目前所有載盤都只能作業單尺寸，這就導致分選機臺上的載盤也需要隨之更換生產，使LED生產企業購買固定資產資金增加。

有鑒于此，針對現有的問題予以研究改良，提供一種多功能wafer載盤，旨在通過該技術，達到解決問題與提高實用價值性的目的。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種多功能wafer載盤，以解決上述背景技術中提出的目前行業內生產晶元的尺寸包括2寸或者4寸甚至6寸，而目前所有載盤都只能作業單尺寸，這就導致分選機臺上的載盤也需要隨之更換生產，使LED生產企業購買固定資產資金增加的問題和不足。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種多功能wafer載盤，由以下具體技術手段所達成：

一種多功能wafer載盤，包括：載盤固定主體、內載盤、工件固定機構、固定鎖板、磁體固定鐵條、活動栓、磁鐵、固定鐵板；所述載盤固定主體的整體外觀呈六棱柱狀，且內載盤嵌入安裝在載盤固定主體上，內載盤與載盤固定主體通過螺絲相連接；所述工件固定機構設置在載盤固定主體及內載盤的上方，且工件固定機構由固定鎖板、磁體固定鐵條、活動栓、磁鐵、固定鐵板組成；所述固定鎖板位于載盤固定主體及內載盤的上方，且固定鎖板與載盤固定主體、內載盤為一體式結構；所述磁體固定鐵條安裝在固定鎖板的一側；所述活動栓的一端嵌入安裝在磁體固定鐵條的后端，且活動栓的另一端貫穿固定鎖板，固定鎖板與活動栓通過套入方式活動連接；所述固定鐵板通過螺釘安裝在磁體固定鐵條的上方；所述磁鐵安裝在固定鐵板的兩側，且磁鐵與磁體固定鐵條通過磁性吸合。

作為本技術方案的進一步優化，本實用新型一種多功能wafer載盤所述內載盤的整體外觀呈圓環狀，且內載盤通過與載盤固定主體的螺絲連接方式設置為拆卸裝置。

作為本技術方案的進一步優化，本實用新型一種多功能wafer載盤所述載盤固定主體上開設有用于容納內載盤的圓形凹槽，且內載盤安裝后上表面與載盤固定主體的上表面平齊。

作為本技術方案的進一步優化，本實用新型一種多功能wafer載盤所述工件固定機構在載盤固定主體、內載盤的上方呈環形陣列狀分布，工件固定機構在載盤固定主體、內載盤的上方均設置有三處。

作為本技術方案的進一步優化，本實用新型一種多功能wafer載盤所述磁體固定鐵條通過固定鎖板與活動栓以套入活動連接的方式設置為滑動裝置。

由于上述技術方案的運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：

1、本實用新型內載盤的整體外觀呈圓環狀，且內載盤通過與載盤固定主體的螺絲連接方式設置為拆卸裝置，載盤固定主體上開設有用于容納內載盤的圓形凹槽，且內載盤安裝后上表面與載盤固定主體的上表面平齊的設置，使裝置能夠適用于不同尺寸晶元的固定，對不同尺寸晶元固定時無需更換載盤，減少資金投入，降低成本，而載盤固定主體上的圓形凹槽方便了內載盤的安裝，同時保證了固定面的水平，防止損壞晶元。