[實用新型]用于基板處理部件的金屬陶瓷釬焊接頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920085603.4
• 申請日: 2019-01-18
• 公開（公告）號: CN209312730U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 戈文達(dá)·瑞澤;湯姆·K·喬;哈米德·毛希丁;蘭·韋洛
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;C23C16/00;C23C14/00
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于基板處理部件的金屬陶瓷釬焊接頭，其特征在于包括：

陶瓷主體，所述陶瓷主體中有凹槽；

共形層，設(shè)置在所述凹槽上；

桿，有一部分設(shè)置在所述凹槽內(nèi)；

第一層，包括設(shè)置在所述凹槽內(nèi)的網(wǎng)狀物；

第二層，包括接近所述第一層設(shè)置的釬焊材料；

第三層，包括接近所述第二層設(shè)置的插入件；和

第四層，包括接近所述第三層設(shè)置的釬焊材料。

2.如權(quán)利要求1所述的接頭，其特征在于進一步包括：接地連接件，耦接到所述網(wǎng)狀物。

3.如權(quán)利要求1所述的接頭，其特征在于所述釬焊材料包括金、鈦、鈀、銀、銅、鎢、鈷、鉻、鐵或其組合。

4.如權(quán)利要求1所述的接頭，其特征在于所述桿包括具有至少一個應(yīng)力減小特征的主體。

5.如權(quán)利要求4所述的接頭，其特征在于所述至少一個應(yīng)力減小特征包括倒角、圓角、通道、凹槽或其組合。

6.如權(quán)利要求1所述的接頭，其特征在于所述插入件包括：

主體，所述主體中形成有至少一個擴展特征。

7.如權(quán)利要求1所述的接頭，其特征在于所述共形層包括鎢、鈦、鉻或其組合。

8.一種用于基板處理部件的金屬陶瓷釬焊接頭，其特征在于包括：

陶瓷主體，所述陶瓷主體中有凹槽；

共形層，設(shè)置在所述凹槽上；

桿，有一部分設(shè)置在所述凹槽內(nèi)；

套筒，圍繞所述桿的一部分；

第一層，包括設(shè)置在所述凹槽內(nèi)的網(wǎng)狀物；

第二層，包括接近所述第一層設(shè)置的釬焊材料；

第三層，包括接近所述第二層設(shè)置的插入件；和

第四層，包括接近所述第三層設(shè)置的釬焊材料。

9.如權(quán)利要求8所述的接頭，其特征在于進一步包括：接地連接件，耦接到所述網(wǎng)狀物。

10.如權(quán)利要求8所述的接頭，其特征在于所述釬焊材料包括金、鈦、鈀、銀、銅、鎢、鈷、鉻、鐵或其組合。

11.如權(quán)利要求8所述的接頭，其特征在于所述共形層包括鎢、鈦、鉻或其組合。

12.如權(quán)利要求11所述的接頭，其特征在于所述共形層包括多于一個層。

13.如權(quán)利要求8所述的接頭，其特征在于所述共形層完全地覆蓋所述凹槽的內(nèi)表面。

14.如權(quán)利要求8所述的接頭，其特征在于所述桿包括主體，所述主體中設(shè)置有至少一個應(yīng)力減小特征，其中所述至少一個應(yīng)力減小特征包括倒角、圓角、通道、凹槽或其組合。

15.如權(quán)利要求8所述的接頭，其特征在于所述插入件包括主體，所述主體中設(shè)置有至少一個擴展特征，所述至少一個擴展特征包括通道、孔洞或其組合。