[實用新型]一種PECVD花籃自動傳送的設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920079256.4
• 申請日: 2019-01-17
• 公開（公告）號: CN209843734U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳劍雨;陳清彬;朱偉忠
• 申請（專利權(quán)）人: 福建金石能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
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• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開一種PECVD花籃自動傳送的設(shè)備，其包括上料機構(gòu)、下料機構(gòu)、伸縮氣缸、傳送皮帶、伺服電機，用于承載硅片的花籃通過上料機構(gòu)和下料機構(gòu)進行傳輸運轉(zhuǎn)，所述上料機構(gòu)位于設(shè)備主體的上部，下料機構(gòu)位于設(shè)備主體的下部，所述傳送皮帶設(shè)在設(shè)備主體的上部和下部，上料機構(gòu)和下料機構(gòu)通過傳送皮帶進行傳輸，并且通過伸縮氣缸在設(shè)備主體的上部和下部進行升降。本實用新型采用以上設(shè)計方案、通過花籃回流的傳送方式，減少人為污染硅片的幾率，降低操作人員勞動強度與操作難度，在硅片傳送過程中仍可保持花籃傳送，避免設(shè)備的等待時間，提高了生產(chǎn)效率，合理設(shè)置檢測開關(guān)裝置，配合傳送機構(gòu)，使花籃傳送過程更加流暢。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及太陽能電池領(lǐng)域，尤其涉及一種PECVD花籃自動傳送的設(shè)備。

背景技術(shù)

當今常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在現(xiàn)有的可持續(xù)能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。太陽能發(fā)電裝置又稱為太陽能電池，其可以將太陽能直接轉(zhuǎn)換成電能，其發(fā)電原理是半導(dǎo)體PN 結(jié)的光生伏特效應(yīng)。

在太陽能電池的制備中，其中的PECVD制程工藝中涉及到雙面鍍膜工藝，雙面鍍膜需為分段進行(分為I-N和I-P段)。目前，太陽能能電池的硅片從I-N段到I-P段鍍膜的過程是：硅片在I-N段下料機被放入花籃后，人工將花籃放置至I-P段上料機上，同時，將I-P段空花籃移至I-N段下料機。

目前，依靠人工方式傳遞花籃速度慢、增加了破片風(fēng)險，同時增加了操作人員的勞動強度。所以，基于PECVD設(shè)備的傳送特點，結(jié)需要開發(fā)一種 PECVD前后段的自動花籃回流傳送機構(gòu)。

實用新型內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實用新型提供一種PECVD花籃自動傳送的設(shè)備，其提高生產(chǎn)效率，降低人工傳遞花籃過程中硅片破片的風(fēng)險。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下設(shè)計方案：

一種PECVD花籃自動傳送的設(shè)備，其包括上料機構(gòu)、下料機構(gòu)、伸縮氣缸、傳送皮帶、伺服電機，用于承載硅片的花籃通過上料機構(gòu)和下料機構(gòu)進行傳輸運轉(zhuǎn)，所述上料機構(gòu)位于設(shè)備主體的上部，下料機構(gòu)位于設(shè)備主體的下部，所述傳送皮帶設(shè)在設(shè)備主體的上部和下部，上料機構(gòu)和下料機構(gòu)通過傳送皮帶進行傳輸，并且通過伸縮氣缸在設(shè)備主體的上部和下部進行升降，所述傳送皮帶由伺服電機帶動轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選的，位于設(shè)備主體的上部和下部的傳送皮帶為三段式皮帶。

優(yōu)選的，所述三段式皮帶每段設(shè)有一個檢測是否有花籃的檢測開關(guān)。

優(yōu)選的，所述檢測開關(guān)包括外側(cè)檢測開關(guān)、中間檢測開關(guān)和外側(cè)檢測開關(guān)。

本實用新型采用以上設(shè)計方案、通過花籃回流的傳送方式，減少人為污染硅片的幾率，降低操作人員勞動強度與操作難度，在硅片傳送過程中仍可保持花籃傳送，避免設(shè)備的等待時間，提高了生產(chǎn)效率，合理設(shè)置檢測開關(guān)裝置，配合傳送機構(gòu)，使花籃傳送過程更加流暢。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本實用新型進行進一步說明：

圖1為本實用新型PECVD花籃自動傳送的設(shè)備的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型PECVD花籃自動傳送的設(shè)備的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。