[實用新型]一種PECVD花籃自動傳送的設備有效

申請號：	201920079256.4	申請日：	2019-01-17
公開（公告）號：	CN209843734U	公開（公告）日：	2019-12-24
發明（設計）人：	陳劍雨;陳清彬;朱偉忠	申請（專利權）人：	福建金石能源有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18;H01L21/677
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	362000 福建省泉州市***	國省代碼：	福建;35
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摘要：
搜索關鍵詞：	上料機構設備主體下料機構花籃傳送皮帶本實用新型伸縮氣缸硅片檢測開關裝置傳輸傳送方式傳送過程傳送機構硅片傳送合理設置人為污染生產效率伺服電機自動傳送與操作升降傳送承載運轉配合
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【權利要求書】：

1.一種PECVD花籃自動傳送的設備，其特征在于：包括上料機構、下料機構、伸縮氣缸、傳送皮帶、伺服電機，用于承載硅片的花籃通過上料機構和下料機構進行傳輸運轉，所述上料機構位于設備主體的上部，下料機構位于設備主體的下部，所述傳送皮帶設在設備主體的上部和下部，上料機構和下料機構通過傳送皮帶進行傳輸，并且通過伸縮氣缸在設備主體的上部和下部進行升降，所述傳送皮帶由伺服電機帶動轉動。

2.根據權利要求1所述的PECVD花籃自動傳送的設備，其特征在于：位于設備主體的上部和下部的傳送皮帶為三段式皮帶。

3.根據權利要求2所述的PECVD花籃自動傳送的設備，其特征在于：所述三段式皮帶每段設有一個檢測是否有花籃的檢測開關。

4.根據權利要求3所述的PECVD花籃自動傳送的設備，其特征在于：所述檢測開關包括外側檢測開關、中間檢測開關和外側檢測開關。

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