[實用新型]一種具有緩沖結構的MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201920074392.4
• 申請日: 2019-01-17
• 公開（公告）號: CN209283507U
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 郭橋生;康良軍;郭奕君;郭智華
• 申請（專利權）人: 朝陽聚聲泰（信豐）科技有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 贛州智府晟澤知識產權代理事務所(普通合伙) 36128
• 代理人: 鄒圣姬

1.一種具有緩沖結構的MEMS麥克風，包括第一PCB基材(1)和麥克風外殼(2)，其特征在于：所述麥克風外殼(2)固定在第一PCB基材(1)的頂部，所述麥克風外殼(2)的內腔設置有第二PCB基材(3)，所述第二PCB基材(3)的頂部設置有MEMS芯片(4)和ASIC芯片(5)，所述MEMS芯片(4)位于ASIC芯片(5)的左側，所述第二PCB基材(3)底部的左側且對應MEMS芯片(4)的位置固定連接有減震腔體機構(6)，所述減震腔體機構(6)的底部與第一PCB基材(1)固定連接，所述第一PCB基材(1)頂部右側的前端和后端均固定連接有金屬減震導線柱(7)，所述金屬減震導線柱(7)的頂部固定連接有金屬連接機構(8)，所述金屬連接機構(8)貫穿至第二PCB基材(3)的頂部，所述MEMS芯片(4)通過第一鍵合金線(9)與ASIC芯片(5)電性連接，所述ASIC芯片(5)通過第二鍵合金線(10)與金屬連接機構(8)電性連接；

所述第一PCB基材(1)底部的左側且對應減震腔體機構(6)的位置開設有聲孔(11)；

所述第二PCB基材(3)底部的左側開設有與MEMS芯片(4)相適配的通氣孔(31)，所述第二PCB基材(3)底部右側的前端和后端均開設有與金屬連接機構(8)相適配的貫穿孔(32)。

2.根據權利要求1所述的一種具有緩沖結構的MEMS麥克風，其特征在于：所述減震腔體機構(6)包括下殼體(61)、上殼體(62)和第一彈簧(63)，所述下殼體(61)的底部與第一PCB基材(1)固定連接，所述上殼體(62)的頂部與第二PCB基材(3)固定連接，所述第一彈簧(63)設置于下殼體(61)的內腔，所述第一彈簧(63)的兩端分別與下殼體(61)和上殼體(62)相抵；

所述下殼體(61)底部的中心處開設有開口(611)，所述下殼體(61)的頂部開設有與上殼體(62)相配合的活動孔(612)。

3.根據權利要求2所述的一種具有緩沖結構的MEMS麥克風，其特征在于：所述上殼體(62)包括固定部(621)、連接部(622)和凸起部(623)，所述固定部(621)的頂部與第二PCB基材(3)固定連接，所述連接部(622)的底部延伸至下殼體(61)的內腔，所述凸起部(623)設置于連接部(622)兩側的底部，所述活動孔(612)內腔的前側和后側均開設有與凸起部(623)相適配的凹槽。

4.根據權利要求2所述的一種具有緩沖結構的MEMS麥克風，其特征在于：所述減震腔體機構(6)還包括定位桿(64)，所述定位桿(64)的數量為兩個，兩個定位桿(64)對稱的固定在下殼體(61)內腔的底部，兩個定位桿(64)均位于第一彈簧(63)的內腔，且定位桿(64)的頂部延伸至上殼體(62)的內腔。

5.根據權利要求1所述的一種具有緩沖結構的MEMS麥克風，其特征在于：所述金屬減震導線柱(7)包括固定殼體(71)、活動桿(72)和第二彈簧(73)，所述固定殼體(71)的底部與第一PCB基材(1)固定連接，所述活動桿(72)的頂部與金屬連接機構(8)固定連接，所述活動桿(72)的底部延伸至固定殼體(71)的內腔，所述第二彈簧(73)設置于固定殼體(71)內腔的底部，所述第二彈簧(73)的兩端分別與固定殼體(71)和活動桿(72)相抵。

6.根據權利要求5所述的一種具有緩沖結構的MEMS麥克風，其特征在于：所述活動桿(72)包括直桿部(721)和位于固定殼體(71)內腔的圓臺部(722)，所述固定殼體(71)內腔的頂部設置有與圓臺部(722)相適配的錐形腔。

7.根據權利要求1所述的一種具有緩沖結構的MEMS麥克風，其特征在于：所述金屬連接機構(8)包括金屬管(81)、第一焊盤(82)和第二焊盤(83)，所述金屬管(81)固定在貫穿孔(32)的內腔，所述金屬管(81)的頂部固定連接有第一焊盤(82)，所述金屬管(81)的底部固定連接有第二焊盤(83)，所述第二焊盤(83)的底部與金屬減震導線柱(7)固定連接。