[實用新型]一種多工位化學氣相沉積爐

有效

• 申請號: 201920067605.0
• 申請日: 2019-01-16
• 公開（公告）號: CN209555366U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 陳超;劉進懷;殷勇;陳斌
• 申請（專利權）人: 湖南金創新材料有限公司
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26;C23C16/44
• 代理公司: 長沙國科天河知識產權代理有限公司 43225
• 代理人: 邱軼

本實用新型提供一種多工位化學氣相沉積爐，包括上爐體、下爐體與升降機構；下爐體通過升降機構連接在上爐體的正下方，下爐體與升降機構傳動相連并在豎向上具有移動的行程，上爐體的底部設有能夠隨著下爐體移動而打開或封閉的爐腔；下爐體的頂部設有若干能夠隨著下爐體移動而封閉在爐腔內的沉積組件與發熱體。利用升降機構連接上爐體與下爐體，下爐體在升降機構的驅動下能夠在豎向上移動，在下爐體移動的過程中，完成將下爐體上的沉積組件與發熱體封閉在爐腔內以及從爐腔內取出的工作，同時繼承了立式沉積爐和臥式沉積爐的優點，能夠很好地實現裝爐量大，工件進、出爐方便，沉積效果較佳。本實用新型應用于沉積設備領域。

技術領域

本實用新型涉及沉積設備領域，尤其涉及一種多工位化學氣相沉積爐。

背景技術

炭/炭復合材料是碳纖維增強碳基體的一種高性能復合材料，具有強度高、耐腐蝕、惰性或保護氣氛下使用溫度達3000℃、可設計性強等特點，在晶體生長爐和多晶硅氫化爐熱場材料方面已得到廣泛應用。尤其是，隨著爐型尺寸日益趨于大型化，炭/炭復合材料相比石墨材料更具有優勢。

CVD化學氣相沉積爐是利用化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition)的原理，將參與化學反應的物質，加熱到一定工藝溫度，在真空泵抽氣系統產生的引力作用下，引至沉積室進行反應、沉積，生成新的固態物質。

采用化學氣相沉積/滲透(CVD/CVI)技術制備的炭/炭復合材料具有結構致密、微裂紋少、熱解碳結構可控等特點?，F有化學氣相沉積設備大多為立式爐、臥式爐兩種。立式爐的優點是底部進氣，氣體流動順暢，沉積效果較好；缺點是裝爐量少，通常為單沉積室沉積；進、出爐時需要行車吊運，工件進、出爐不方便。臥式爐的優點是進、出爐方便、比較快捷；缺點是需要配套的操作平臺，進氣方式為側面進氣導致氣流只能橫向流動，易在產品表面積碳，沉積效果不佳。

實用新型內容

針對現有技術中立式沉積爐與臥式沉積爐的缺點，本實用新型的目的是提供一種多工位化學氣相沉積爐，同時繼承了立式沉積爐和臥式沉積爐的優點；能夠很好地實現裝爐量大，工件進、出爐方便，沉積效果較佳。

為了實現上述實用新型目的，本實用新型采用的技術方案是：一種多工位化學氣相沉積爐，包括上爐體、下爐體與升降機構；

所述下爐體通過升降機構連接在上爐體的正下方，所述下爐體與升降機構固定相連并相對所述上爐體在豎向上具有升降移動的行程，所述上爐體內部具有爐腔，所述上爐體的底部設有能夠隨著下爐體移動而打開或封閉所述爐腔的爐門；

所述下爐體的頂部固設有若干能夠隨著下爐體移動而封閉在所述爐腔內的沉積組件與發熱體。

作為上述技術方案的進一步改進，所述升降機構包括氣缸、液壓油缸、齒輪齒條結構或曲柄滑塊機構。

作為上述技術方案的進一步改進，所述升降機構包括電機組件、升降絲桿及螺套，所述升降絲桿的一端與電機組件的輸出端傳動相連，所述升降絲桿的另一端與所述螺套螺紋連接。

作為上述技術方案的進一步改進，所述升降絲桿依次穿過上爐體、下爐體后位于下爐體的下方，所述升降絲桿與上爐體轉動相連，所述螺套與所述下爐體固定連接或一體設置。

作為上述技術方案的進一步改進，所述升降絲桿位于下爐體下方的一端上設有阻擋塊。

作為上述技術方案的進一步改進，所述升降機構的數量至少為三個，若干升降機構呈環形均勻分布在上爐體和/或下爐體周圍。

作為上述技術方案的進一步改進，所述沉積組件包括支撐件與沉積件，所述沉積件通過支撐件固定連接在下爐體上，所述沉積件的內部設有沉積室，所述沉積件的底部設有與沉積室連通的進氣孔，所述沉積件的頂部設有與沉積室連通的出氣孔。

作為上述技術方案的進一步改進，所述進氣孔的孔徑大于出氣孔的孔徑，所述出氣孔的孔徑在15mm以下。