[實用新型]一種多工位化學氣相沉積爐

有效

• 申請號: 201920067605.0
• 申請日: 2019-01-16
• 公開（公告）號: CN209555366U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 陳超;劉進懷;殷勇;陳斌
• 申請（專利權）人: 湖南金創新材料有限公司
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26;C23C16/44
• 代理公司: 長沙國科天河知識產權代理有限公司 43225
• 代理人: 邱軼

1.一種多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，包括上爐體、下爐體與升降機構；

所述下爐體通過升降機構連接在上爐體的正下方，所述下爐體與升降機構固定相連并相對所述上爐體在豎向上具有升降移動的行程，所述上爐體內部具有爐腔，所述上爐體的底部設有能夠隨著下爐體移動而打開或封閉所述爐腔的爐門；

所述下爐體的頂部固設有若干能夠隨著下爐體移動而封閉在所述爐腔內的沉積組件與發熱體。

2.根據權利要求1所述多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，所述升降機構包括氣缸、液壓油缸、齒輪齒條結構或曲柄滑塊機構。

3.根據權利要求1所述的多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，所述升降機構包括電機組件、升降絲桿及螺套，所述升降絲桿的一端與電機組件的輸出端傳動相連，所述升降絲桿的另一端與所述螺套螺紋連接。

4.如權利要求3所述的多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，所述升降絲桿依次穿過上爐體、下爐體后位于下爐體的下方，所述升降絲桿與上爐體轉動相連，所述螺套與所述下爐體固定連接或一體設置。

5.根據權利要求4所述多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，所述升降絲桿位于下爐體下方的一端上設有阻擋塊。

6.根據權利要求1至5任一項所述多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，所述升降機構的數量至少為三個，若干升降機構呈環形均勻分布在上爐體和/或下爐體周圍。

7.根據權利要求1至5任一項所述多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，所述沉積組件包括支撐件與沉積件，所述沉積件通過支撐件固定連接在下爐體上，所述沉積件的內部設有沉積室，所述沉積件的底部設有與沉積室連通的進氣孔，所述沉積件的頂部設有與沉積室連通的出氣孔。

8.根據權利要求7所述多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，所述進氣孔的孔徑大于出氣孔的孔徑，所述出氣孔的孔徑在15mm以下。

9.根據權利要求1至5任一項所述多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，所述上爐體包括上爐壁以及固設在上爐壁的內壁上的上保溫層，所述上保溫層環繞在爐腔的周圍；所述下爐體包括下爐壁以及固設在下爐壁的頂部的下保溫層，所述下保溫層位于爐腔的正下方，所述沉積組件與發熱體固設在下保溫層上。

10.根據權利要求9所述多工位化學氣相沉積爐，其特征在于，所述上爐壁和/或下爐壁為夾層結構，所述上爐壁的夾層內和/或下爐壁的夾層內具有循環流通的冷卻液。