[實用新型]一種自動上漿拋光機

有效

• 申請號: 201920064059.5
• 申請日: 2019-01-15
• 公開（公告）號: CN209119044U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 時琦
• 申請（專利權）人: 高密飛仕龍達電子有限公司
• 主分類號: H01L21/56
• 分類號: H01L21/56;H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 孟雪

1.一種自動上漿拋光機，其特征是，包括橫桿，所述橫桿上依次設有滴漿組件、勻漿組件和拋光組件，所述橫桿下方設有第一軌道，所述第一軌道上設有可沿所述第一軌道滑動的抓取組件，所述滴漿組件和所述拋光組件的下方均設有載物臺，所述勻漿組件和所述拋光組件之間設有烘烤組件。

2.根據權利要求1所述的一種自動上漿拋光機，其特征是，所述滴漿組件包括噴嘴，所述噴嘴連接有噴漿管道，所述噴漿管道連接有漿桶，所述噴嘴的側方設有豎直設置的第二軌道，所述噴嘴可沿所述第二軌道移動。

3.根據權利要求2所述的一種自動上漿拋光機，其特征是，所述噴嘴與所述第二軌道之間設有第一滑車，所述第一滑車與所述第二軌道滑動連接，所述第一滑車與所述噴嘴固定連接，所述第一滑車上設有驅動所述第一滑車沿所述第二軌道移動的第一驅動裝置。

4.根據權利要求2所述的一種自動上漿拋光機，其特征是，所述噴嘴內設有流量檢測裝置。

5.根據權利要求1所述的一種自動上漿拋光機，其特征是，所述勻漿組件包括固定在所述橫桿上的第二驅動裝置，所述第二驅動裝置的轉動軸的端部設有第一電動推桿，所述第一電動推桿底部設有刮板。

6.根據權利要求1所述的一種自動上漿拋光機，其特征是，所述拋光組件包括固定在所述橫桿上的第三驅動裝置，所述第三驅動裝置的轉動軸的端部設有第二電動推桿，所述第二電動推桿底部設有刮刀。

7.根據權利要求1所述的一種自動上漿拋光機，其特征是，所述第一軌道包括兩條在一平面內平行設置的兩條導軌，每條導軌上均設有一所述抓取組件，所述抓取組件包括第三電動推桿和設于所述第三電動推桿底部的機械手，所述第三電動推桿與所述導軌之間設有第二滑車，所述第二滑車與所述導軌滑動連接，所述第二滑車與所述抓取組件固定連接，所述第二滑車上設有驅動第二滑車沿所述導軌移動的第四驅動裝置。

8.根據權利要求7所述的一種自動上漿拋光機，其特征是，所述機械手設為與硅片的側邊匹配的弧形爪，所述弧形爪可沿水平方向移動，兩根所述導軌上的所述弧形爪對稱設置。

9.根據權利要求1所述的一種自動上漿拋光機，其特征是，所述載物臺的臺面上設有若干通孔，所述通孔底部連通有真空氣缸。