[實用新型]一種半導體光刻工藝中的晶元勻膠設備

有效

• 申請號: 201920058630.2
• 申請日: 2019-01-14
• 公開（公告）號: CN210296303U
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 耿林茹;高向芝
• 申請（專利權）人: 河北光森電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/68
• 代理公司: 石家莊領皓專利代理有限公司 13130
• 代理人: 任軍培;李婷

1.一種半導體光刻工藝中的晶元勻膠設備，包括工作臺(1)，所述工作臺(1)的上表面包括支撐板(2)、環形槽(3)、固定板(4)、電動推桿(5)、滑槽(6)、滑桿(7)、滑塊(8)、定位塊(9)、連接桿(10)、連接板(11)、轉軸(12)、支撐桿(13)、擋板(14)和進料口(15)，其特征在于：所述環形槽(3)位于支撐板(2)的表面開設，所述環形槽(3)的內壁與固定板(4)的內壁滑動連接，所述固定板(4)的底部與電動推桿(5)的上表面固定連接，所述滑槽(6)位于支撐板(2)的上表面開設，所述滑桿(7)靠近支撐板(2)中心的一側與滑槽(6)的內壁靠近支撐板(2)中心的一側固定連接，所述滑桿(7)遠離支撐板(2)中心的一側與滑槽(6)的內壁遠離支撐板(2)中心的一側固定連接，所述滑桿(7)的表面與滑塊(8)的內壁滑動連接，所述滑塊(8)的表面與滑槽(6)的內壁滑動連接，所述滑塊(8)的上表面與定位塊(9)的底部固定連接，所述定位塊(9)的底部與支撐板(2)的上表面滑動連接，所述滑塊(8)的內壁通過銷軸與連接桿(10)的頂部鉸接，所述連接桿(10)的底部通過銷軸與連接板(11)的內壁鉸接，所述連接板(11)的內壁與轉軸(12)的表面頂部固定連接，所述轉軸(12)的表面底部通過軸承與工作臺(1)的內壁固定連接，所述固定板(4)的上表面與支撐桿(13)的底部固定連接，所述支撐桿(13)的頂部與擋板(14)的底部固定連接，所述進料口(15)位于擋板(14)的上表面開設；

所述工作臺(1)的底部包括支撐腿(16)、固定套筒(17)和驅動電機(18)，所述支撐腿(16)的底部與工作臺(1)的底部固定連接，所述工作臺(1)的底部與固定套筒(17)的頂部固定連接，所述固定套筒(17)的內壁與驅動電機(18)的表面固定連接，所述驅動電機(18)的輸出端通過聯軸器與轉軸(12)的底部固定連接，所述工作臺(1)的正面包括控制面板(19)，所述控制面板(19)的背面與工作臺(1)的正面固定連接，所述控制面板(19)分別與電動推桿(5)和驅動電機(18)電連接。

2.根據權利要求1所述的一種半導體光刻工藝中的晶元勻膠設備，其特征在于：所述轉軸(12)的表面頂部包括連接套筒(20)、連接槽(21)、連接塊(22)和氣孔(23)，所述連接套筒(20)的內壁底部與轉軸(12)的表面頂部滑動連接，所述連接槽(21)位于連接套筒(20)的內壁底部開設，所述連接槽(21)的內壁與連接塊(22)的表面滑動連接，所述連接塊(22)靠近轉軸(12)的一側與轉軸(12)的表面頂部固定連接，所述氣孔(23)位于連接套筒(20)的表面頂部開設。

3.根據權利要求1所述的一種半導體光刻工藝中的晶元勻膠設備，其特征在于：所述支撐板(2)的中心與進料口(15)的中心在同一垂直面內，且支撐板(2)的中心與轉軸(12)的中心在同一垂直面內。

4.根據權利要求1所述的一種半導體光刻工藝中的晶元勻膠設備，其特征在于：所述定位塊(9)的數量為四個，且四個定位塊(9)呈對稱分布。

5.根據權利要求1所述的一種半導體光刻工藝中的晶元勻膠設備，其特征在于：所述連接桿(10)遠離轉軸(12)中心的一側與水平面之間夾角范圍為三十度至八十度。

6.根據權利要求1所述的一種半導體光刻工藝中的晶元勻膠設備，其特征在于：所述固定板(4)的內壁為圓形，且固定板(4)的中心與支撐板(2)的中心在同一垂直面內。