[實用新型]一種晶圓合框防二次撕膠裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920038245.1
• 申請日: 2019-01-10
• 公開（公告）號: CN209232739U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發(fā)明（設計）人: 孟強;陳志遠;聶偉;魏通
• 申請（專利權）人: 江蘇匯成光電有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G01D21/02
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 董旭東

1.一種晶圓合框防二次撕膠裝置，其特征在于，包括機箱，機箱內設置有搬運機器人，機箱側面設有可升降的安全門，所述搬運機器人與安全門相對應設置，所述機箱內與搬運機器人相對應地設有晶圓周向定位機構，所述晶圓周向定位機構包括固定底座，固定底座上經(jīng)橫向導軌滑動連接有移動工作臺，移動工作臺上側轉動連接有旋轉臺，機箱內部上方對應設有固定盤，固定盤下側邊緣設有周向角位移傳感器，移動工作臺的外殼體內設有與旋轉臺傳動連接的旋轉驅動機構以及帶動移動工作臺橫向移動的橫移驅動機構，所述固定底座靠近搬運機器人的一側設有U形安裝支架，安裝支架的頂部設有顏色傳感器。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓合框防二次撕膠裝置，其特征在于，所述顏色傳感器與安全門的報警器電連接。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的一種晶圓合框防二次撕膠裝置，其特征在于，所述搬運機器人包括搬運底座，搬運底座上可轉動地連接有擺臂一，擺臂一端部可轉動地連接有擺臂二，擺臂二端部可轉動地連接有擺臂三，擺臂三端部固定連接有Y形真空吸引手，真空吸引手下側開設有與抽真空裝置相連通的真空吸引孔。

4.根據(jù)權利要求1或2所述的一種晶圓合框防二次撕膠裝置，其特征在于，所述橫移驅動機構包括豎直設置的橫移電機，橫移電機的輸出軸向下穿過移動工作臺的外殼體底部并傳動連接有齒輪，所述橫向導軌上沿軸向設置有齒條，齒條與齒輪相嚙合。

5.根據(jù)權利要求1或2所述的一種晶圓合框防二次撕膠裝置，其特征在于，所述旋轉驅動機構包括豎直設置的旋轉電機，旋轉電機側面通過若干徑向設置的固定條與移動工作臺的外殼體內側相固定，旋轉電機的輸出端經(jīng)減速器與旋轉臺的轉軸傳動連接，轉軸外周設有軸承。