[實用新型]一種精密位移傳感器

有效

• 申請號: 201920031441.6
• 申請日: 2019-01-09
• 公開（公告）號: CN209310741U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 張白;孔德超;楊海濤
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 張玲

本實用新型涉及一種精密位移傳感器，其位移傳感器包括至少兩個第一反射鏡組，每個第一反射鏡組包括反射鏡一與反射鏡二，所述至少兩個第一反射鏡組沿移動方向依次分布；激光源，用于發射出激光束；所述反射鏡一，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射鏡二，或用于接收反射鏡二反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光電探測器二；所述反射鏡二，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射鏡一，或用于接收反射鏡一反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光電探測器一。該傳感器結構簡單，測量精度高，便于批量生產。

技術領域

本實用新型涉及測量技術領域，具體涉及一種精密位移傳感器。

背景技術

基于光學三角放大法的位移測量新原理，是在光學三角放大法的基礎上，結合三角波光學器件與高精度PSD(Position Sensitive Device，位置靈敏(敏感)探測器)實現的。經過光學三角放大，水平小位移 t在光電探測器(PSD)上放大至T，可以將長度測量的精度大大提升。從而光學傳感器成為了目前測量技術領域廣泛應用的工具，而現有技術中的位移傳感器，例如，申請號為201810782152.X，實用新型名稱為《一種基于直角反射鏡組的精密位移傳感器及其測量方法》中提供的位移傳感器，其傳感器結構復雜，體積相對較大，成本相對較高。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種精密位移傳感器。

為了實現上述目的，本實用新型提供以下技術方案：

一種精密位移傳感器，包括：

至少兩個第一反射鏡組，每個第一反射鏡組包括反射鏡一與反射鏡二，所述至少兩個第一反射鏡組沿移動方向依次分布；

激光源，用于發射出激光束；

所述反射鏡一，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射鏡二，或接收用于接收反射鏡二反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光電探測器二；

所述反射鏡二，用于接收激光源射出激光束，且使激光束反射至反射鏡一，或用于接收反射鏡一反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光電探測器一；

所述光電探測器一，用于接收經反射鏡二反射的激光束，并測量其入射位置；

所述光電探測器二，用于接收經反射鏡一反射的激光束，并測量其入射位置；

所述激光束的光路為：依次經反射鏡一、反射鏡二反射后入射至光電探測器一，或依次經反射鏡二、反射鏡一反射后入射至光電探測器二；

所述光電探測器一與光電探測器二分別位于所述激光源相對立的兩側；

處理系統，用于根據光電探測器一、光電探測器二接收到的激光束的入射位置變化量，計算出被測物體的位移變化值。

通過反射鏡一或反射鏡二對激光束進行反射，對被測物體的位移距離進行方便，便于對被測物體的位移量的計算，且通過光電探測器一與光電探測器二分別位于所述激光源相對立的兩側實現了位移傳感器的連續測量。

在進一步的方案中，還包括第二反射鏡組一、第二反射鏡組二、所述第二反射鏡組一包括反射鏡三與反射鏡四，所述第二反射鏡組二包括反射鏡五與反射鏡六；所述第二反射組一與反射鏡組二分別位于所述激光源相對立的兩側；

所述反射鏡三，用于接收反射鏡二反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡四；

所述反射鏡四，用于接收反射鏡三反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡二；

所述反射鏡六，用于接收反射鏡一反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡五；

所述反射鏡五，用于接收反射鏡六反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡一；