[實用新型]一種精密位移傳感器

有效

• 申請號: 201920031441.6
• 申請日: 2019-01-09
• 公開（公告）號: CN209310741U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 張白;孔德超;楊海濤
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 張玲

1.一種精密位移傳感器，其特征在于，包括：

至少兩個第一反射鏡組，每個第一反射鏡組包括反射鏡一與反射鏡二，所述至少兩個第一反射鏡組沿移動方向依次分布；

激光源，用于發射出激光束；

所述反射鏡一，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射鏡二，或用于接收反射鏡二反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光電探測器二；

所述反射鏡二，用于接收激光源射出激光束，且使激光束反射至反射鏡一，或用于接收反射鏡一反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光電探測器一；

所述光電探測器一，用于接收經反射鏡二反射的激光束，并測量其入射位置；

所述光電探測器二，用于接收經反射鏡一反射的激光束，并測量其入射位置；

所述激光束的光路為：依次經反射鏡一、反射鏡二反射后入射至光電探測器一，或依次經反射鏡二、反射鏡一反射后入射至光電探測器二；

所述光電探測器一與光電探測器二分別位于所述激光源相對立的兩側；

處理系統，用于根據光電探測器一、光電探測器二接收到的激光束的入射位置變化量，計算出被測物體的位移變化值。

2.根據權利要求1所述的精密位移傳感器，其特征在于，還包括第二反射鏡組一、第二反射鏡組二、所述第二反射鏡組一包括反射鏡三與反射鏡四，所述第二反射鏡組二包括反射鏡五與反射鏡六；所述第二反射組一與反射鏡組二分別位于所述激光源相對立的兩側；

所述反射鏡三，用于接收反射鏡二反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡四；

所述反射鏡四，用于接收反射鏡三反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡二；

所述反射鏡六，用于接收反射鏡一反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡五；

所述反射鏡五，用于接收反射鏡六反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡一；

所述反射鏡一，用于接收激光源發射的激光束或反射鏡五反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡二，或接收反射鏡二反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡六或光電探測器一；

所述反射鏡二，用于接收激光源發射的激光束或反射鏡四反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡一，或接收反射鏡一反射的激光束，并使得激光束反射至反射鏡三或光電探測器二。

3.根據權利要求2所述的精密位移傳感器，其特征在于，還包括殼體，激光源、光電探測器一、光電測器二、第二反射鏡組一、第二反射鏡組二均固定設置于殼體內，組成一個讀數頭。

4.根據權利要求3所述的精密位移傳感器，其特征在于,所述讀數頭為至少兩個，且所述至少兩個讀數頭之間的位置關系滿足：在測量過程中，至少有一個讀數頭可以讀取到激光束在光電探測器一與光電探測器二光電探測器一或光電探測器二上的入射位置變化量。

5.根據權利要求2所述的精密位移傳感器，其特征在于，所述反射鏡一與反射鏡二組成夾角為直角的反射鏡組，激光源發射的激光束呈45度角入射至反射鏡一或反射鏡二。

6.根據權利要求5所述的精密位移傳感器，其特征在于，所述反射鏡三與反射鏡四組成夾角為直角的反射鏡組，所述反射鏡五與反射鏡六組成夾角為直角的反射鏡組，所述反射鏡三與反射鏡五均與所述反射鏡一平行，所述反射鏡四與反射鏡六與所述反射鏡二平行。

7.根據權利要求1所述的精密位移傳感器，其特征在于，所述至少兩個第一反射鏡組首尾連接，整體形成長條鋸齒狀結構。