[發明專利]懸翼結構具有角部的體聲波諧振器、濾波器及電子設備

有效

• 申請號: 201911424760.4
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111130492B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 龐慰;張巍;楊清瑞;張孟倫
• 申請（專利權）人: 諾思（天津）微系統有限責任公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/17;H03H9/56
• 代理公司: 北京金誠同達律師事務所 11651
• 代理人: 湯雄軍

1.一種體聲波諧振器，包括：

基底；

聲學鏡；

底電極；

頂電極；

壓電層，設置在底電極與頂電極之間，

其中：

頂電極具有形成懸翼結構的邊界頂電極，所述懸翼結構具有角部，所述角部具有第一斜面，所述第一斜面以從所述懸翼結構的最外側邊緣朝向內側傾斜向上的方式延伸，所述第一斜面具有第一下沿與第一上沿，所述最外側邊緣構成所述第一下沿，所述角部的底側沿諧振器的橫向方向向外延伸；

在頂電極的非電極連接端，所述第一下沿在水平方向上處于所述壓電層的邊緣的內側；

在諧振器的厚度方向上所述懸翼結構的角部的底側與壓電層的頂側彼此相對且間隔開。

2.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述第一斜面與所述底側形成第一夾角，第一夾角在40°-80°的范圍內。

3.根據權利要求2所述的諧振器，其中：

所述第一夾角在50°-70°的范圍內。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的諧振器，其中：

所述懸翼結構包括所述角部、水平部和傾斜上升部，所述傾斜上升部一端連接于頂電極本體，另一端連接到所述水平部的一端，所述水平部的另一端連接到所述角部，所述角部底側與所述水平部的底側共面。

5.根據權利要求4所述的諧振器，其中：

所述諧振器還包括鈍化層，所述鈍化層包括覆蓋所述懸翼結構的水平部的邊界鈍化層。

6.根據權利要求5所述的諧振器，其中：

所述邊界鈍化層的端面為豎直面，所述豎直面的下沿與所述第一上沿重合或者位于所述第一上沿的內側或者位于第一上沿的外側；或者

所述邊界鈍化層的端面為第二斜面，所述第二斜面的下沿與第一上沿重合或者位于第一上沿的內側或者位于第一上沿的外側，且所述第二斜面朝向外側傾斜向上延伸，第二斜面與水平部的頂側形成第二夾角。

7.根據權利要求5所述的諧振器，其中：

所述邊界鈍化層的端面為第二斜面，第二斜面具有第二下沿與第二上沿，所述第二下沿與所述第一上沿重合或者第二下沿位于第一上沿的內側，或者第二下沿延伸到第一上沿的外側；且

所述第二斜面朝向內側傾斜向上延伸，第二斜面與水平部的頂側形成第二夾角。

8.根據權利要求7所述的諧振器，其中：

第一斜面與第二斜面共面；或者

所述第一斜面與所述底側形成第一夾角，第二夾角小于第一夾角。

9.根據權利要求6-8中任一項所述的諧振器，其中：

第二夾角小于第一夾角，且第二夾角在10-80°的范圍內，所述第一斜面與所述底側形成所述第一夾角。

10.根據權利要求9所述的諧振器，其中：

第二夾角在15-60°的范圍內。

11.根據權利要求4所述的諧振器，其中：

所述諧振器還包括鈍化層，所述鈍化層包括覆蓋所述懸翼結構的傾斜上升部的邊界鈍化層，且所述邊界鈍化層的頂面與所述懸翼結構的水平部的頂面相接且共面。

12.根據權利要求1-3中任一項所述的諧振器，其中：

所述懸翼結構包括傾斜上升部，所述傾斜上升部一端連接于頂電極本體，另一端連接到所述角部。

13.根據權利要求12所述的諧振器，其中：

所述諧振器還包括鈍化層，所述鈍化層包括覆蓋所述懸翼結構的傾斜上升部的邊界鈍化層，所述邊界鈍化層的端面為第二斜面，所述邊界鈍化層的頂面與所述角部的底側平行，且第一上沿構成第一斜面與第二斜面的交線。

14.一種濾波器，包括根據權利要求1-13中任一項所述的體聲波諧振器。

15.一種電子設備，包括根據權利要求14所述的濾波器或者根據權利要求1-13中任一項所述的體聲波諧振器。