[發(fā)明專(zhuān)利]懸翼結(jié)構(gòu)具有角部的體聲波諧振器、濾波器及電子設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911424760.4
• 申請(qǐng)日: 2019-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111130492B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龐慰;張巍;楊清瑞;張孟倫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 諾思（天津）微系統(tǒng)有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H03H9/02
• 分類(lèi)號(hào): H03H9/02;H03H9/17;H03H9/56
• 代理公司: 北京金誠(chéng)同達(dá)律師事務(wù)所 11651
• 代理人: 湯雄軍

本發(fā)明公開(kāi)了一種體聲波諧振器，包括：基底；聲學(xué)鏡；底電極；頂電極；壓電層，設(shè)置在底電極與頂電極之間，其中：頂電極具有形成懸翼結(jié)構(gòu)的邊界頂電極，所述懸翼結(jié)構(gòu)具有角部，所述角部具有第一斜面，所述第一斜面以從所述懸翼結(jié)構(gòu)的最外側(cè)邊緣朝向內(nèi)側(cè)傾斜向上的方式延伸，所述第一斜面具有第一下沿與第一上沿，所述最外側(cè)邊緣構(gòu)成所述第一下沿，所述角部的底側(cè)沿諧振器的橫向方向向外延伸。本發(fā)明還公開(kāi)了一種具有該諧振器的濾波器及具有該濾波器或諧振器的電子設(shè)備。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種體聲波諧振器、一種濾波器，以及一種具有該諧振器或該濾波器的電子設(shè)備。

背景技術(shù)

電子器件作為電子設(shè)備的基本元素，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用，其應(yīng)用范圍包括移動(dòng)電話、汽車(chē)、家電設(shè)備等。此外，未來(lái)即將改變世界的人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G通訊等技術(shù)仍然需要依靠電子器件作為基礎(chǔ)。

薄膜體聲波諧振器(Film Bulk Acoustic Resonator，簡(jiǎn)稱FBAR，又稱為體聲波諧振器，也稱BAW)作為壓電器件的重要成員正在通信領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，特別是FBAR濾波器在射頻濾波器領(lǐng)域市場(chǎng)占有份額越來(lái)越大，F(xiàn)BAR具有尺寸小、諧振頻率高、品質(zhì)因數(shù)高、功率容量大、滾降效應(yīng)好等優(yōu)良特性，其組成的濾波器正在逐步取代傳統(tǒng)的聲表面波(SAW)濾波器和陶瓷濾波器，在無(wú)線通信射頻領(lǐng)域發(fā)揮巨大作用，其高靈敏度的優(yōu)勢(shì)也能應(yīng)用到生物、物理、醫(yī)學(xué)等傳感領(lǐng)域。

但諧振器在并聯(lián)諧振處的Q值仍需要進(jìn)一步提高。

發(fā)明內(nèi)容

為提高體聲波諧振器在并聯(lián)諧振處的Q值，提出本發(fā)明。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的一個(gè)方面，提出了一種體聲波諧振器，包括：

基底；

聲學(xué)鏡；

底電極；

頂電極；

壓電層，設(shè)置在底電極與頂電極之間，

其中：

頂電極具有懸翼結(jié)構(gòu)，所述懸翼結(jié)構(gòu)具有角部，所述角部具有第一斜面，所述第一斜面以從所述懸翼結(jié)構(gòu)的最外側(cè)邊緣朝向內(nèi)側(cè)傾斜向上的方式延伸，所述第一斜面具有第一下沿與第一上沿，所述最外側(cè)邊緣構(gòu)成所述第一下沿，所述角部的底側(cè)沿諧振器的橫向方向向外延伸。

本發(fā)明的實(shí)施例還涉及一種濾波器，包括上述的體聲波諧振器。

本發(fā)明的實(shí)施例也涉及一種電子設(shè)備，包括上述的濾波器或者上述的諧振器。

附圖說(shuō)明

以下描述與附圖可以更好地幫助理解本發(fā)明所公布的各種實(shí)施例中的這些和其他特點(diǎn)、優(yōu)點(diǎn)，圖中相同的附圖標(biāo)記始終表示相同的部件，其中：

圖1A為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的體聲波諧振器的剖面示意圖，其中諧振器的懸翼結(jié)構(gòu)具有角部；

圖1B為圖1A中的懸翼結(jié)構(gòu)的放大示意圖，其中鈍化層的豎直端面的下沿與角部的上沿重合；

圖1C示例性示出了諧振器的并聯(lián)諧振Q值隨角部斜面的斜角變化的關(guān)系；

圖2A為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的體聲波諧振器的剖面示意圖，其中諧振器的懸翼結(jié)構(gòu)具有角部，且懸翼結(jié)構(gòu)覆蓋有鈍化層；

圖2B為圖2A中的懸翼結(jié)構(gòu)的放大示意圖，其中鈍化層的端部斜面與角部的斜面共面；

圖2C為根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的體聲波諧振器的局部剖面示意圖，其中，鈍化層的角部延伸到邊界頂電極的角部的外側(cè)；

圖3A為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的體聲波諧振器的剖面示意圖，其中諧振器的懸翼結(jié)構(gòu)具有角部，且懸翼結(jié)構(gòu)覆蓋有鈍化層；