[發(fā)明專利]靶材旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、靶材安裝結(jié)構(gòu)以及離子源濺射系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911423845.0
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111155062B
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉偉基;冀鳴;趙剛;易洪波;吳秋生
• 申請（專利權(quán)）人: 中山市博頓光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京市立方律師事務(wù)所 11330
• 代理人: 劉延喜

1.一種靶材安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：靶材旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，主軸、靶材底座以及固定支撐軸；

所述靶材底座上設(shè)有多個(gè)靶材安裝座，各個(gè)所述靶材安裝座連接螺桿；各個(gè)所述靶材安裝座通過旋轉(zhuǎn)軸連接渦輪上，所述渦輪分別與所述螺桿咬合；

所述主軸與所述靶材底座連接，帶動所述靶材底座旋轉(zhuǎn)；所述固定支撐軸通過單向逆止結(jié)構(gòu)分別與所述靶材底座和螺桿的一端連接，所述螺桿的另一端通過渦輪與所述靶材安裝座連接；

所述靶材旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括：靶材安裝座以及傳動機(jī)構(gòu)；

所述靶材安裝座用于安裝靶材；所述傳動機(jī)構(gòu)帶動所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動以轉(zhuǎn)動靶材；所述靶材安裝座通過旋轉(zhuǎn)軸與所述傳動機(jī)構(gòu)連接，所述旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)設(shè)有冷卻水路，以對所述靶材進(jìn)行冷卻。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸與筒體的兩端通過軸承固定連接，且所述旋轉(zhuǎn)軸與筒體之間為密封設(shè)計(jì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有環(huán)形的進(jìn)水槽和出水槽，所述進(jìn)水槽和出水槽通過水路連通，所述筒體在進(jìn)水槽位置上開設(shè)進(jìn)水口，所述筒體在出水槽位置上開設(shè)出水口；其中，所述水路從進(jìn)水槽底部通過進(jìn)水路引至靶材安裝端部，并由所述靶材安裝端部通過出水路引至出水槽底部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靶材安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有密封槽，所述密封槽用于安裝密封圈，與所述筒體之間形成真空密封。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靶材安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸的進(jìn)水槽與出水槽之間設(shè)有至少一個(gè)密封圈。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靶材安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸的進(jìn)水槽與一側(cè)軸承之間設(shè)有至少兩個(gè)密封圈，所述出水槽與另一側(cè)軸承之間設(shè)有至少兩個(gè)密封圈。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靶材安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，各個(gè)所述靶材安裝座的旋轉(zhuǎn)軸上的進(jìn)水口與出水口依次通過管道串聯(lián)，形成一條冷卻水路。

8.一種離子源濺射系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的靶材安裝結(jié)構(gòu)。