[發明專利]顯示器件及其封裝方法有效
| 申請號: | 201911421487.X | 申請日: | 2019-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN112331797B | 公開(公告)日: | 2023-06-06 |
| 發明(設計)人: | 李松舉;宋晶堯;付東 | 申請(專利權)人: | 廣東聚華印刷顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | H10K50/844 | 分類號: | H10K50/844;H10K59/12 |
| 代理公司: | 華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 杜寒宇 |
| 地址: | 510000 廣東省廣州市廣州*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 顯示 器件 及其 封裝 方法 | ||
1.一種顯示器件的封裝方法,所述顯示器件包括基板以及設置在所述基板上的像素結構,所述像素結構包括多個子像素,其特征在于,所述基板包括襯底、TFT驅動陣列以及鈍化層,所述TFT驅動陣列設置在所述襯底上,所述鈍化層覆蓋在所述TFT驅動陣列上,所述子像素設置在所述鈍化層上;
所述封裝方法包括以下步驟:
在相鄰的所述子像素之間的所述鈍化層上制作疏水層;
在所述像素結構上制作多個第一封裝層,使多個所述第一封裝層分別封裝一個或多個所述子像素,且相鄰的所述第一封裝層之間相互獨立,所述第一封裝層為硬質封裝層;制作多個所述第一封裝層是通過原子層沉積工藝整面沉積封裝材料,由于所述疏水層的存在,封裝材料在沒有所述疏水層的區域沉積,從而形成多個相互獨立的第一封裝層;所述鈍化層的材料采用氧化硅,所述第一封裝層的材料采用氧化鋁,所述鈍化層和所述第一封裝層結合形成Al-Si-O鍵,以配合將相應的所述子像素包裹在其中;
采用分子層沉積工藝在所述第一封裝層上形成多個第二封裝層,所述第二封裝層與所述第一封裝層一一對應,所述第二封裝層為軟質封裝層;
采用原子層沉積工藝在所述第二封裝層上形成多個第三封裝層,所述第三封裝層與所述第二封裝層一一對應,所述第三封裝層為硬質封裝層。
2.如權利要求1所述的封裝方法,其特征在于,所述疏水層的材料為ODTS、ODT、ODPA、DTS、ODS、十二烷基醇、十八烯、PMMA或PVP。
3.如權利要求2所述的封裝方法,其特征在于,所述疏水層的材料為ODTS。
4.如權利要求1所述的封裝方法,其特征在于,隨靠近所述基板,相鄰的所述第一封裝層之間的距離逐漸減小。
5.如權利要求1所述的封裝方法,其特征在于,所述第三封裝層的材料選自氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化鋁和二氧化鈦中的至少一種,所述第二封裝層的材料選自氮氧化硅、碳氧化硅、聚二甲基硅氧烷、聚對二甲苯、聚丙烯、聚苯乙烯和聚酰亞胺中的至少一種。
6.如權利要求1所述的封裝方法,其特征在于,所述第一封裝層的厚度為2nm~500nm,所述第二封裝層的厚度為0.5μm~20μm,所述第三封裝層的厚度為200nm~5000nm。
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