[發明專利]體聲波諧振器組、濾波器、電子設備、機電耦合系數調整方法

有效

• 申請號: 201911419061.0
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111262548B
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 郝龍;龐慰;徐洋;張巍;楊清瑞;張孟倫
• 申請（專利權）人: 諾思（天津）微系統有限責任公司
• 主分類號: H03H9/15
• 分類號: H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13
• 代理公司: 北京金誠同達律師事務所 11651
• 代理人: 湯雄軍

本發明涉及一種體聲波諧振器組件，包括設置在同一基底上的至少兩個體聲波諧振器，每一個諧振器包括：聲學鏡；底電極；頂電極；和壓電層，所述聲學鏡、底電極、壓電層和頂電極在諧振器厚度方向上的重疊區域構成諧振器的有效區域，其中：至少兩個體聲波諧振器包括第一諧振器與第二諧振器；第一諧振器包括第一壓電層，第二諧振器包括第二壓電層，第一壓電層與第二壓電層材料相同且同層布置，且第一壓電層的厚度大于第二壓電層的厚度。本發明還涉及一種機電耦合系數調整方法，一種包括上述體聲波諧振器組的濾波器以及一種電子設備。

技術領域

本發明的實施例涉及半導體領域，尤其涉及一種體聲波諧振器組，一種具有該諧振器組的濾波器，一種具有該濾波器或諧振器組的電子設備，以及一種機電耦合系數調整方法。

背景技術

體聲波濾波器具有低插入損耗、高矩形系數、高功率容量等優點，因此，被廣泛應用在當代無線通訊系統中，是決定射頻信號進出通訊系統質量的重要元器件。

以現有技術在同一個基底上相同頻率的諧振器的機電耦合系數都不可調，通常頻率定了諧振器的機電耦合系數就定了，不可調整。

但實際中需要用到相同頻率但機電耦合系數不同的諧振器。因此，現有技術中存在如下需求：在同一基底上設置不同的諧振器，例如兩個諧振器，例如其在同一基底上，可以具有相同的頻率，同時具有不同的機電耦合系數。

發明內容

為解決現有技術中的上述技術問題的至少一個方面，提出本發明。

根據本發明的實施例的一個方面，提出了一種體聲波諧振器組，包括設置在同一基底上的至少兩個體聲波諧振器，每一個諧振器包括：聲學鏡；底電極；頂電極；和壓電層，所述聲學鏡、底電極、壓電層和頂電極在諧振器厚度方向上的重疊區域構成諧振器的有效區域，其中：

至少兩個體聲波諧振器包括第一諧振器與第二諧振器；

第一諧振器包括第一壓電層，第二諧振器包括第二壓電層，第一壓電層與第二壓電層材料相同且同層布置，且第一壓電層的厚度大于第二壓電層的厚度。

根據本發明的實施例的另一方面，提出了一種機電耦合系數調整方法，包括步驟：

在同一基底上形成共用于第一體聲波諧振器和第二體聲波諧振器的壓電層；

使得第二諧振器對應的第二壓電層的厚度小于第一諧振器對應的第一壓電層的厚度，以調整第一諧振器與第二諧振器的機電耦合系數之間的差值。

根據本發明的實施例的再一方面，提出了一種濾波器，包括上述的體聲波諧振器組，在至少一個所述諧振器組中的兩個體聲波諧振器的機電耦合系數不同。

本發明的實施例還涉及一種電子設備，包括上述的濾波器或者諧振器組。

附圖說明

以下描述與附圖可以更好地幫助理解本發明所公布的各種實施例中的這些和其他特點、優點，圖中相同的附圖標記始終表示相同的部件，其中：

圖1為根據本發明的一個示例性實施例的體聲波諧振器組的截面示意圖；

圖2A-2D為示出根據本發明的一個示例性實施例的體聲波諧振器組的制造過程的截面示意圖，其中也示出了調整機電耦合系數的一種示例性過程；

圖3為根據本發明的一個示例性實施例的體聲波諧振器組的截面示意圖，其中頂電極設置有檐結構；

圖4為根據本發明的一個示例性實施例的體聲波諧振器組的截面示意圖，其中頂電極與壓電層之間設置有空隙層；

圖5為根據本發明的一個示例性實施例的體聲波諧振器組的截面示意圖，其中頂電極設置有檐結構；

圖6為根據本發明的一個示例性實施例的體聲波諧振器組的截面示意圖，其中第一諧振器的壓電層為兩層材料不同的壓電層形成；