[發明專利]體聲波諧振器組、濾波器、電子設備、機電耦合系數調整方法

有效

• 申請號: 201911419061.0
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111262548B
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 郝龍;龐慰;徐洋;張巍;楊清瑞;張孟倫
• 申請（專利權）人: 諾思（天津）微系統有限責任公司
• 主分類號: H03H9/15
• 分類號: H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13
• 代理公司: 北京金誠同達律師事務所 11651
• 代理人: 湯雄軍

1.一種體聲波諧振器組件，包括設置在同一基底上的至少兩個體聲波諧振器，每一個諧振器包括：聲學鏡；底電極；頂電極；和壓電層，所述聲學鏡、底電極、壓電層和頂電極在諧振器厚度方向上的重疊區域構成諧振器的有效區域，

其中：

至少兩個體聲波諧振器包括第一諧振器與第二諧振器；

第一諧振器包括第一壓電層，第二諧振器包括第二壓電層，第一壓電層與第二壓電層同層布置，且第一壓電層的厚度大于第二壓電層的厚度；

所述第一壓電層和第二壓電層的材料相同；且

第二諧振器還設置有第二質量負載層。

2.根據權利要求1所述的組件，其中：

第一諧振器設置有第一質量負載層，且第一質量負載層的厚度小于第二質量負載層的厚度。

3.根據權利要求1或2所述的組件，其中：

第一諧振器的頂電極的非引腳端設置有第一檐結構，第一檐結構具有第一高度以及第一寬度，所述第一檐結構與壓電層之間設置有空隙或不導電介質層；和/或

第二諧振器的頂電極的非引腳端設置有第二檐結構，第二檐結構具有第二高度以及第二寬度，所述第二檐結構與壓電層之間設置有空隙或不導電介質層。

4.根據權利要求3所述的組件，其中：

第一高度不同于第二高度，和/或第一寬度不同于第二寬度。

5.根據權利要求4所述的組件，其中：

第一高度不同于第二高度，且兩個高度在100?到4000?的范圍內；和/或

第一寬度不同于第二寬度，且兩個寬度在0.2μm到7μm的范圍內。

6.根據權利要求1或2所述的組件，其中：

第一諧振器在其頂電極與壓電層之間在有效區域的范圍內設置有第一空隙結構；和/或

第二諧振器在其頂電極與壓電層之間在有效區域的范圍內設置有第二空隙結構。

7.根據權利要求1或2所述的組件，其中：

第一諧振器和/或第二諧振器在有效區域的邊界附近還設置有凸起和/或凹陷結構。

8.一種機電耦合系數調整方法，包括步驟：

在同一基底上形成共用于第一諧振器和第二諧振器的壓電層，第一諧振器和第二諧振器均為體聲波諧振器，第一諧振器和第二諧振器的壓電層的材料相同；

使得第二諧振器對應的第二壓電層的厚度小于第一諧振器對應的第一壓電層的厚度，以調整第一諧振器與第二諧振器的機電耦合系數之間的差值；和

調整第一諧振器與第二諧振器之間的頻率差值，包括：在第二諧振器設置第二質量負載層，以調整第二諧振器的頻率。

9.根據權利要求8所述的方法，其中：

調整第一諧振器與第二諧振器之間的頻率差值包括步驟：在第一諧振器設置第一質量負載層，以調整第一諧振器的頻率。

10.根據權利要求9所述的方法，其中：

調整第一諧振器與第二諧振器之間的頻率差值包括步驟：調整第二諧振器的頻率與第一諧振器的頻率中的至少一個使得兩者相同或第二諧振器的頻率與第一諧振器的頻率差值為預定值。

11.根據權利要求8-10中任一項所述的方法，其中：

使得第二諧振器對應的第二壓電層的厚度小于第一諧振器對應的第一壓電層的厚度的步驟包括：

在共用于第一諧振器和第二諧振器的壓電層上沉積阻擋層；

從第二諧振器對應的壓電層上移除阻擋層；

同時減薄第一諧振器上的阻擋層以及第二諧振器對應的壓電層，直至第二諧振器對應的壓電層的厚度減小而成為具有預定厚度的第二壓電層。

12.根據權利要求11所述的方法，還包括步驟：

從第一諧振器的壓電層上移除剩余的阻擋層。