[發明專利]一種氮化物靶材的制備方法

有效

• 申請號: 201911416943.1
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111153700B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發明（設計）人: 王海俠;肖偉軍
• 申請（專利權）人: 歐鈦鑫光電科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: C04B35/58
• 分類號: C04B35/58;C04B35/622;C04B35/626;C23C14/34
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種氮化物靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）在載氣條件下，將氮化物粉末進行研磨、篩分；

（2）在步驟（1）的粉末中加入聚乙烯醇，并在模具中用冷等靜壓或熱等靜壓或溫等靜壓預壓制成型為坯體；

（3）將步驟（2）的坯體進行預燒排膠后，在惰性氣體或氨氣或真空條件下，在600-1000^oC溫度下燒結得到氮化物靶材；

所述氮化物粉末通過如下方法制備得到：將氮化物相對應的金屬、金屬氧化物或金屬羥基氧化物在氨氣條件下，在600-980^oC進行氮化處理2-7小時得到氮化物粉末，其中氧化物或羥基氧化物純度不低于99.995%，氨氣純度不低于4N；

所述氮化物粉末為氮化鎵粉末、氮化鋅粉末或者氮化銦粉末，并且將氮化物相對應的金屬、金屬氧化物或金屬羥基氧化物在氨氣條件下，在600-980^oC進行氮化處理2-7小時得到氮化物粉末包括：

將氧化鎵或羥基氧化鎵在氨氣條件下，在980℃進行氮化處理4小時得到氮化鎵粉末，其中制備得到的氮化鎵粉末的粒徑范圍為0.05-40μm，比表面積為3.6～18m²/g；或者

將金屬鋅在氨氣條件下，在610℃進行氮化處理5小時得到氮化鋅粉末，其中制備得到的氮化鋅粉末的粒徑范圍為0.02-30μm，比表面積為4.0～25m²/g；或者

將氧化銦或羥基氧化銦在氨氣條件下，在680℃進行氮化處理3小時得到氮化銦粉末，其中制備得到的氮化銦粉末的粒徑范圍為0.05-20μm，比表面積為4.3～15m²/g；

并且在步驟（1）的粉末中加入聚乙烯醇，并在模具中用冷等靜壓或熱等靜壓或溫等靜壓預壓制成型為坯體包括：

在所述氮化鎵粉末中加入3wt％的聚乙烯醇，在100℃、90MPa條件下壓制成型為坯體；或者

在所述氮化鋅粉末中加入1wt％的聚乙烯醇，在200℃、80MPa條件下壓制成型為坯體；或者

在所述氮化銦粉末中加入5wt％的聚乙烯醇，在300℃、80MPa條件下壓制成型為坯體。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，在步驟（3）中，預燒排膠的溫度為500-650^oC。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，在步驟（3）中，所述惰性氣體為氮氣或氬氣。

4.一種權利要求1~3任一項所述的制備方法制備得到的氮化物靶材。

5.權利要求4所述的氮化物靶材在半導體材料中的應用。