[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的激光打標(biāo)粉塵收集裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911413410.8
• 申請(qǐng)日: 2019-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111014219A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱袁正;占四兵;朱久桃;王效勇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 無(wú)錫電基集成科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B15/02
• 分類(lèi)號(hào): B08B15/02;B23K26/16;B23K26/362
• 代理公司: 無(wú)錫市匯誠(chéng)永信專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 32260
• 代理人: 朱曉林

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的激光打標(biāo)粉塵收集裝置，包括吸塵組件和集塵組件，所述吸塵組件包括吸塵腔體及其支架，所述吸塵腔體右側(cè)面下部設(shè)有真空接口，頂面上設(shè)有開(kāi)口，底面上設(shè)有吸塵口，所述開(kāi)口上設(shè)有透明密封蓋，所述吸塵腔體內(nèi)設(shè)有吸塵管路和真空管路；所述集塵組件包括相匹配的蓋板和箱體，箱體的左側(cè)面上設(shè)有進(jìn)氣口，右側(cè)面上設(shè)有出氣口，箱體內(nèi)部位于進(jìn)氣口與出氣口之間的相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面上設(shè)有相對(duì)的插槽，插槽用于鑲嵌初效過(guò)濾器；本案利用工廠裕度較大的真空動(dòng)力作為吸塵動(dòng)力源且吸塵口與加工界面貼合，能夠最大限度地減少粉塵的擴(kuò)散和蔓延，不僅除塵效果好，而且降低了除塵成本和除塵能耗。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的激光打標(biāo)粉塵收集裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體器件越來(lái)越多樣化，即便相同封裝外形的器件其內(nèi)部可能包含著功能完全不同的芯片，所以半導(dǎo)體器件型號(hào)的區(qū)分變得尤為重要。

早期在半導(dǎo)體器件外殼涂上不同顏色的油跡來(lái)表示其不同的放大性能，但是不僅顏色容易脫落，而且要求使用者需熟記各種顏色的含義。后來(lái)發(fā)展到將器件型號(hào)油印在外殼表面，雖器件型號(hào)區(qū)分的問(wèn)題得到解決，但仍然存在印字排版不靈活、印字小型化難、印油污染等問(wèn)題。隨著激光裁剪、雕刻技術(shù)的發(fā)展，激光刻印由于具有設(shè)備小、速度快、排版簡(jiǎn)單方便等特點(diǎn)逐漸成為現(xiàn)代半導(dǎo)體打標(biāo)領(lǐng)域的主流技術(shù)。激光打標(biāo)器發(fā)生高能激光，通過(guò)X、Y軸電機(jī)將激光掃描在打標(biāo)面上，打標(biāo)面物質(zhì)在高能激光的照射下被燃燒、熔融，甚至氣化等，最終留下字跡。這種達(dá)標(biāo)技術(shù)在具體應(yīng)用時(shí)，打標(biāo)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的煙霧和粉塵，需要專(zhuān)門(mén)的收集系統(tǒng)進(jìn)行吸塵、過(guò)濾，并將廢物排出室外。

在半導(dǎo)體封測(cè)打標(biāo)工序中，現(xiàn)有的測(cè)試分選機(jī)激光吸塵頭采用開(kāi)放式吸塵方式(如圖1所示)和三通式吸塵方式(如圖2所示)，很難將打標(biāo)過(guò)程產(chǎn)生的粉塵全部吸除。未吸除的粉塵彌漫在激光打標(biāo)器和測(cè)試分選機(jī)周?chē)目諝庵校罱K散落在機(jī)器上，不僅會(huì)影響車(chē)間潔凈度，而且容易被操作人員吸入體內(nèi)，影響身體健康。除此之外，現(xiàn)有的開(kāi)放式吸塵方式和三通式吸塵方式還要配備專(zhuān)門(mén)的吸塵設(shè)備和管路，需要增加相應(yīng)的動(dòng)力成本和能源消耗。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種能夠與工廠真空動(dòng)力系統(tǒng)連接的用于半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的激光打標(biāo)粉塵收集裝置。

為實(shí)現(xiàn)以上技術(shù)目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是：

一種用于半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的激光打標(biāo)粉塵收集裝置，包括吸塵組件和集塵組件；

所述吸塵組件包括吸塵腔體及其支架，所述吸塵腔體右側(cè)面下部設(shè)有真空接口，頂面上設(shè)有開(kāi)口，底面上設(shè)有吸塵口，所述開(kāi)口上設(shè)有透明密封蓋且開(kāi)口的縱向中心線與吸塵口的縱向中心線位于同一直線上，所述吸塵腔體內(nèi)設(shè)有吸塵管路和真空管路，所述吸塵管路的底端與吸塵口連通，中部與真空管路的左端連通，上端延伸至吸塵腔體內(nèi)部上部，所述真空接口的一端與真空管路的右端連通；

所述集塵組件包括相匹配的蓋板和箱體，所述蓋板與箱體的接合面上設(shè)有密封結(jié)構(gòu)，所述蓋板與箱體通過(guò)鎖緊結(jié)構(gòu)鎖緊，所述箱體的左側(cè)面上設(shè)有進(jìn)氣口，右側(cè)面上設(shè)有出氣口，所述進(jìn)氣口通過(guò)軟管與真空接口的另一端相連，所述出氣口與工廠真空動(dòng)力管路相連，所述箱體內(nèi)部位于進(jìn)氣口與出氣口之間的相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面上設(shè)有相對(duì)的插槽，所述插槽用于鑲嵌初效過(guò)濾器，所述初效過(guò)濾器頂部抵接在蓋板上，底部抵接在箱體底部。

作為改進(jìn)，所述支架的高度可調(diào)且與吸塵腔體的連接角度可調(diào)。