[發明專利]移動單元及其驅動方法、電子設備、攝像模組

有效

• 申請號: 201911409304.2
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN113132611B
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 桂珞
• 申請（專利權）人: 中芯集成電路（寧波）有限公司
• 主分類號: H04N5/232
• 分類號: H04N5/232;H04N5/225
• 代理公司: 上海知錦知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31327
• 代理人: 吳凡;高靜

一種移動單元及其驅動方法、電子設備、攝像模組，其中，移動單元包括：固定平臺；多個相間隔的固定電極，位于所述固定平臺上；可動極板，懸空設置于所述固定平臺上方；多組相間隔的位移模塊，位于所述可動極板朝向所述固定電極的面上，所述位移模塊與所述固定電極一一對應，所述位移模塊包括多個沿預設移動方向間隔排列的控制電極，所述位移模塊中預設移動方向間隔排列的所述控制電極的數量大于或等于三個。本發明提供的移動單元具有行程大、移動精度高的優點，有利于實現對被移動部件的位移的精確控制；而且，本發明提供的移動單元適用于半導體工藝制造，還有利于實現批量化生產、較低成本和較高的集成度。

技術領域

本發明涉及光電成像領域，尤其涉及一種移動單元及其驅動方法、電子設備、攝像模組。

背景技術

在一些電子終端中，通常會需要讓其中的某些部件發生平移、豎直移動或者傾斜，進而實現某些特殊功能，例如：實現光學防抖。

光學防抖是依靠特殊的鏡頭或者感光元件最大程度的降低操作者在使用過程中由于抖動或者物體發生移動造成影像不穩定。目前一種光學防抖技術通常是在鏡頭內的陀螺儀偵測到微小的移動，并且會將信號傳至微處理器立即計算需要補償的位移量，然后通過補償鏡片組，根據抖動方向及位移量加以補償，從而有效的克服因相機的振動產生的影像模糊。

還有一些光學防抖技術是在一些具有鏡頭模組的攝像機、照相機和手機等各種電子終端中，通常會通過VCM馬達(Voice Coil Actuator/Voice Coil Motor，音圈馬達)等驅動機構來使得可移動透鏡在光軸方向上位移以聚焦或變焦，或者，在垂直于光軸方向的方向上位移以防止光學抖動。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種移動單元及其驅動方法、電子設備、攝像模組，提高移動單元的行程和移動精度。

為解決上述問題，本發明提供一種移動單元，包括：固定平臺；多個相間隔的固定電極，位于所述固定平臺上；可動極板，懸空設置于所述固定平臺上方；多組相間隔的位移模塊，位于所述可動極板朝向所述固定電極的面上，所述位移模塊與所述固定電極一一對應，所述位移模塊包括多個沿預設移動方向間隔排列的控制電極，所述位移模塊中沿所述預設移動方向間隔排列的所述控制電極的數量大于或等于三個。

可選的，所述位移模塊中的所述控制電極等間距排列。

可選的，所述位移模塊中，所述控制電極沿所述預設移動方向的間距小于5微米。

可選的，沿預設移動方向上，所述控制電極的尺寸與所述固定電極的尺寸相等。

可選的，沿預設移動方向上，所述固定電極的尺寸小于10微米；沿所述預設移動方向上，所述控制電極的尺寸小于10微米。

可選的，所述位移模塊間的間隔等于所述位移模塊中所述控制電極間的間隔。

可選的，在垂直于所述固定平臺表面的方向上，所述控制電極的底面至所述固定電極的頂面的距離小于5微米。

可選的，所述固定電極間的間距等于所述位移模塊間的間距。

可選的，所述移動單元還包括：圍壁結構，位于所述可動極板側部的所述固定平臺上；頂部限位結構，位于所述圍壁結構的頂部，且懸空延伸至所述可動極板的部分區域上，所述圍壁結構、頂部限位結構與所述固定平臺圍成空腔；所述固定電極、可動極板以及位移模塊位于所述空腔中。

可選的，所述移動單元還包括：第一電極引腳，位于所述頂部限位結構的頂部；所述移動單元還包括：可伸縮的第一導線，所述第一導線的一端與所述第一電極引腳相連，所述第一導線的另一端與所述位移模塊相連。

可選的，所述第一導線為彈簧狀導線。