[發明專利]移動單元及其驅動方法、電子設備、攝像模組

有效

• 申請號: 201911409304.2
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN113132611B
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 桂珞
• 申請（專利權）人: 中芯集成電路（寧波）有限公司
• 主分類號: H04N5/232
• 分類號: H04N5/232;H04N5/225
• 代理公司: 上海知錦知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31327
• 代理人: 吳凡;高靜

1.一種移動單元，用于移動被移動部件，其特征在于，包括：

固定平臺；

多個相間隔的固定電極，位于所述固定平臺上；

可動極板，懸空設置于所述固定平臺上方；

多組相間隔的位移模塊，位于所述可動極板朝向所述固定電極的面上，所述位移模塊與所述固定電極一一對應，所述位移模塊包括多個沿預設移動方向間隔排列的控制電極，所述位移模塊中沿所述預設移動方向間隔排列的所述控制電極的數量大于或等于三個；

所述位移模塊中，與所述固定電極正對的控制電極為正對電極，與所述正對電極相鄰且與所述預設移動方向相反的所述控制電極為側對電極，所述控制電極和固定電極均處于浮接狀態；

所述移動單元用于執行一次或多次位移處理，所述位移處理包括：給所述側對電極加載第一驅動信號，使所述側對電極與所述固定電極具有靜電吸引力，使所述側對電極移動至所述固定電極的正對位置；

所述側對電極移動至所述固定電極的正對位置后，給所述側對電極加載第二驅動信號，使所述側對電極與所述固定電極之間失去靜電吸引力，與所述固定電極正對的所述側對電極作為正對電極，與所述正對電極相鄰且與所述預設移動方向相反的所述控制電極為側對電極。

2.如權利要求1所述的移動單元，其特征在于，所述位移模塊中的所述控制電極等間距排列。

3.如權利要求1或2所述的移動單元，其特征在于，所述位移模塊中，所述控制電極沿所述預設移動方向的間距小于5微米。

4.如權利要求1所述的移動單元，其特征在于，沿預設移動方向上，所述控制電極的尺寸與所述固定電極的尺寸相等。

5.如權利要求1所述的移動單元，其特征在于，沿預設移動方向上，所述固定電極的尺寸小于10微米；

沿所述預設移動方向上，所述控制電極的尺寸小于10微米。

6.如權利要求1所述的移動單元，其特征在于，所述位移模塊間的間隔等于所述位移模塊中所述控制電極間的間隔。

7.如權利要求1所述的移動單元，其特征在于，在垂直于所述固定平臺表面的方向上，所述控制電極的底面至所述固定電極的頂面的距離小于5微米。

8.如權利要求1所述的移動單元，其特征在于，所述固定電極間的間距等于所述位移模塊間的間距。

9.如權利要求1所述的移動單元，其特征在于，所述移動單元還包括：圍壁結構，位于所述可動極板側部的所述固定平臺上；

頂部限位結構，位于所述圍壁結構的頂部，且懸空延伸至所述可動極板的部分區域上，所述圍壁結構、頂部限位結構與所述固定平臺圍成空腔；

所述固定電極、可動極板以及位移模塊位于所述空腔中。

10.如權利要求9所述的移動單元，其特征在于，所述移動單元還包括：第一電極引腳，位于所述頂部限位結構的頂部；

所述移動單元還包括：可伸縮的第一導線，所述第一導線的一端與所述第一電極引腳相連，所述第一導線的另一端與所述位移模塊相連。

11.如權利要求10所述的移動單元，其特征在于，所述第一導線為彈簧狀導線。

12.如權利要求9所述的移動單元，其特征在于，所述移動單元還包括：第二電極引腳，位于所述頂部限位結構的頂部；

所述移動單元還包括：第二導線，所述第二導線的一端與多個固定電極連接，所述第二導線的另一端與所述第二電極引腳連接。

13.如權利要求1所述的移動單元，其特征在于，所述移動單元還包括：底部限位結構，位于所述固定平臺上，用于限定所述可動極板的底部位置。