[發(fā)明專利]一種硅片生產(chǎn)用滾圓裝置

在審

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• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN111113223A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊兆安
• 申請（專利權(quán)）人: 楊兆安
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B9/06;B24B29/08;B24B41/06;B24B47/22;B24B41/02;B24B47/12
• 代理公司: 北京艾皮專利代理有限公司 11777
• 代理人: 郭童瑜

1.一種硅片生產(chǎn)用滾圓裝置，包括工作臺（1），其特征在于，所述工作臺（1）的底部外壁通過螺栓連接有第一電機(jī)（2），且第一電機(jī)（2）的輸出軸一端設(shè)置有下轉(zhuǎn)盤（3），所述工作臺（1）頂部外壁的四個拐角處均通過螺栓連接有液壓缸（4），且液壓缸（4）的活塞一端設(shè)置有升降板（9），所述升降板（9）的底部外壁開有圓槽，且圓槽的內(nèi)壁通過軸承轉(zhuǎn)動連接有上轉(zhuǎn)盤（5），所述升降板（9）頂部外壁的四個拐角處均設(shè)置有凹孔，且凹孔的內(nèi)壁通過螺栓連接有電動伸縮桿（6），所述電動伸縮桿（6）的活塞一端設(shè)置有頂板（7），且頂板（7）的底部外壁設(shè)置有定位筒（8），所述定位筒（8）的內(nèi)壁開有等距離呈環(huán)形分布的滑孔，且滑孔的內(nèi)壁滑動連接有滑桿（12），所述滑桿（12）的一端外壁焊接有弧形塊（13），且滑桿（12）的另一端外壁設(shè)置有擋塊（14），所述滑桿（12）的外壁套接有彈簧（15）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片生產(chǎn)用滾圓裝置，其特征在于，所述工作臺（1）的頂部外壁通過螺栓連接有第二電機(jī)（16），且第二電機(jī)（16）的輸出軸一端設(shè)置有螺紋絲杠（17），螺紋絲杠（17）的外壁螺紋連接有活動板（18）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片生產(chǎn)用滾圓裝置，其特征在于，所述活動板（18）的頂部外壁設(shè)置有豎桿（19），且豎桿（19）的外壁通過軸承轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)筒（20），轉(zhuǎn)筒（20）的兩側(cè)外壁分別焊接有拋光塊（11）和打磨塊（10）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅片生產(chǎn)用滾圓裝置，其特征在于，所述豎桿（19）的頂部外壁開有通槽，且通槽的內(nèi)壁插接有U形桿（21），拋光塊（11）和打磨塊（10）的頂部外壁均開有限位孔，限位孔的內(nèi)壁和U形桿（21）的外壁滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片生產(chǎn)用滾圓裝置，其特征在于，所述第一電機(jī)（2）、液壓缸（4）、電動伸縮桿（6）和第二電機(jī)（16）均通過導(dǎo)線連接有開關(guān)，且開關(guān)通過導(dǎo)線連接有電源。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的一種硅片生產(chǎn)用滾圓裝置，其特征在于，所述上轉(zhuǎn)盤（5）的底部外壁開有凹槽（24），且上轉(zhuǎn)盤（5）的底部外壁粘接有橡膠墊（22），橡膠墊（22）的底部外壁開有多個通氣孔（23）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種硅片生產(chǎn)用滾圓裝置，其特征在于，所述上轉(zhuǎn)盤（5）的一側(cè)外壁設(shè)置有限位口，且限位口的內(nèi)壁焊接有圓筒（25），圓筒（25）的一側(cè)外壁開有螺紋孔，螺紋孔的內(nèi)壁螺紋連接有螺紋桿（26），螺紋桿（26）的一端外壁焊接有調(diào)節(jié)輪（28），螺紋桿（26）的另一端外壁粘接有橡膠塞（27）。