[發明專利]一種硅片清洗用換料裝置

有效

• 申請號: 201911377645.6
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN111136060B
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 楊兆安
• 申請（專利權）人: 內蒙古科思通科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 北京華仁聯合知識產權代理有限公司 11588
• 代理人: 王希剛

本發明屬于硅片清洗技術領域，尤其是一種硅片清洗用換料裝置，針對現有的硅片清洗裝置進行硅片清洗時，將硅片放置于置物箱中，繼而將其移動至清洗箱中進行清洗，但是，清洗后進行硅片的換料較為繁瑣，需要一個個將置物箱中的硅片取出，繼而更換另一批硅片，極大的降低硅片清洗效率，缺乏實用性，現提出以下方案，包括底板、升降組件和固定組件。本發明通過設置有連接軸、限位環、支撐板和固定柱，硅片清洗后，取下儲料箱，將另一個放置有硅片的儲料箱放置于支撐板上，使得儲料箱上的進水管對準固定柱，繼而轉動支撐板至限位板下方，再次調節氣缸使得限位板位于儲料箱周圍，調節液壓桿帶動限位板對其進行固定，完成硅片的更換，方便快捷。

技術領域

本發明涉及硅片清洗技術領域，尤其涉及一種硅片清洗用換料裝置。

背景技術

在米粒大的硅片上，已能集成16萬個晶體管，這是科學技術進步的又一個里程碑；地殼中含量達25.8%的硅元素，為單晶硅的生產提供了取之不盡的源泉；由于硅元素是地殼中儲量最豐富的元素之一，對太陽能電池這樣注定要進入大規模市場（mass market）的產品而言，儲量的優勢也是硅成為光伏主要材料的原因之一，硅片在使用后，需要對其進行清洗，清洗的過程中需要進行硅片的更換。

現有的硅片清洗用換料裝置存在有不足之處：現有的硅片清洗裝置進行硅片清洗時，將硅片放置于置物箱中，繼而將其移動至清洗箱中進行清洗，但是，清洗后進行硅片的換料較為繁瑣，需要一個個將置物箱中的硅片取出，繼而更換另一批硅片，極大的降低硅片清洗效率，缺乏實用性。

發明內容

基于現有的硅片清洗裝置進行硅片清洗時，將硅片放置于置物箱中，繼而將其移動至清洗箱中進行清洗，但是，清洗后進行硅片的換料較為繁瑣，需要一個個將置物箱中的硅片取出，繼而更換另一批硅片，極大的降低硅片清洗效率，缺乏實用性，本發明提出了一種硅片清洗用換料裝置。

本發明提出的一種硅片清洗用換料裝置，包括底板、升降組件和固定組件，所述底板的頂部外壁設有連接軸，且連接軸的外壁通過鍵固定有兩個限位環，連接軸位于兩個限位環之間的外壁套接有支撐板，支撐板的頂部外壁固定連接有固定柱，所述底板位于固定組件下方的頂部外壁設有清洗箱，且清洗箱的一側外壁固定連接有排水管，排水管的外壁通過法蘭連接有排水閥。

優選地，所述升降組件包括固定架，且固定架的頂部外壁設有氣缸，氣缸的底部外壁固定連接有吊桿。

優選地，所述吊桿的底部外壁設有上固定板，且上固定板的底部外壁等距離設有連接桿，多個連接桿的底部外壁設有同一個下固定板。

優選地，所述下固定板的頂部外壁設有電機，且電機的輸出軸通過聯軸器固定有轉軸，轉軸的底部外壁固定連接有固定環。

優選地，所述固定組件包括多個固定桿，且多個固定桿均固定連接于固定環的外壁，多個固定桿的相對一側外壁均設有液壓桿，每個液壓桿的另一端均固定連接有限位板，多個限位板之間固定有同一個儲料箱，多個液壓桿連接有同步液壓系統。

優選地，所述底板的一側外壁設有連接架，且連接架的一側外壁設有液壓缸，液壓缸的另一端設有調節板，調節板的頂部外壁固定連接有二號固定柱。

本發明中的有益效果為：

1、通過設置有連接軸、限位環、支撐板和固定柱，硅片清洗后，通過氣缸帶動儲料箱上移，調節液壓桿松開限位板對儲料箱的固定，繼而取下儲料箱，將另一個放置有硅片的儲料箱放置于支撐板上，使得儲料箱上的進水管對準固定柱，繼而轉動支撐板至限位板下方，再次調節氣缸使得限位板位于儲料箱周圍，調節液壓桿帶動限位板對其進行固定，完成硅片的更換，方便快捷。

2、通過設置有電機和轉軸，將硅片的儲料箱放置于清洗箱中后，啟動電機，電機通過轉軸帶動儲料箱轉動，從而提高儲料箱中的硅片清洗效果。