[發明專利]一種硅片清洗用換料裝置

有效

• 申請號: 201911377645.6
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN111136060B
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 楊兆安
• 申請（專利權）人: 內蒙古科思通科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 北京華仁聯合知識產權代理有限公司 11588
• 代理人: 王希剛

1.一種硅片清洗用換料裝置，包括底板（1）、升降組件和固定組件，其特征在于，所述底板（1）的頂部外壁設有連接軸（11），且連接軸（11）的外壁通過鍵固定有兩個限位環（12），連接軸（11）位于兩個限位環（12）之間的外壁套接有支撐板（14），支撐板（14）的頂部外壁固定連接有固定柱（13），所述底板（1）位于固定組件下方的頂部外壁設有清洗箱（15），且清洗箱（15）的一側外壁固定連接有排水管（17），排水管（17）的外壁通過法蘭連接有排水閥（16）；

所述底板（1）的一側外壁設有連接架（22），且連接架（22）的一側外壁設有液壓缸（23），液壓缸（23）的另一端設有調節板（24），調節板（24）的頂部外壁固定連接有二號固定柱（25）。

2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗用換料裝置，其特征在于，所述升降組件包括固定架（4），且固定架（4）的頂部外壁設有氣缸（7），氣缸（7）的底部外壁固定連接有吊桿（20）。

3.根據權利要求2所述的一種硅片清洗用換料裝置，其特征在于，所述吊桿（20）的底部外壁設有上固定板（8），且上固定板（8）的底部外壁等距離設有連接桿（6），多個連接桿（6）的底部外壁設有同一個下固定板（9）。

4.根據權利要求3所述的一種硅片清洗用換料裝置，其特征在于，所述下固定板（9）的頂部外壁設有電機（19），且電機（19）的輸出軸通過聯軸器固定有轉軸（18），轉軸（18）的底部外壁固定連接有固定環（21）。

5.根據權利要求4所述的一種硅片清洗用換料裝置，其特征在于，所述固定組件包括多個固定桿（10），且多個固定桿（10）均固定連接于固定環（21）的外壁，多個固定桿（10）的相對一側外壁均設有液壓桿（5），每個液壓桿（5）的另一端均固定連接有限位板（2），多個限位板（2）之間固定有同一個儲料箱（3），多個液壓桿（5）連接有同步液壓系統。