[發明專利]一種通過襯底調控電卡性能薄膜的制備方法

在審

• 申請號: 201911377429.1
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN111128682A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 彭彪林;姜錦濤
• 申請（專利權）人: 廣西大學
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 盧波

1.一種通過襯底調控電卡性能薄膜的制備方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

1)將LaNiO₃前驅體溶液旋涂于襯底之上，制得第一濕膜；

2)將第一濕膜干燥、熱解、退火制得一層LaNiO₃薄膜；

3)重復步驟1)～2)，制得具有多層LaNiO₃/襯底的復合基底；

4)將Pb_0.78Ba_0.2La_0.02ZrO₃前驅體溶液旋涂于步驟3)所制得的復合基底之上，制得第二濕膜；

5)將第二濕膜干燥、熱解、退火制得一層Pb_0.78Ba_0.2La_0.02ZrO₃薄膜；

6)重復步驟4)～5)，制得多層Pb_0.78Ba_0.2La_0.02ZrO₃薄膜；

其中，步驟1)所述襯底為Pt(111)/TiO_x/SiO₂/Si(100)、n-type GaN和p-type GaN中的任一一種。

2.根據權利要求1所述的通過襯底調控電卡性能薄膜的制備方法，其特征在于，步驟1)所述的LaNiO₃前驅體溶液是由Ni(CH₃COO)₂、La(NO₃)₃溶解于冰醋酸、水和甲酰胺的混合溶液中放置20～30小時，制得濃度為0.3M的LaNiO₃前驅體溶液。

3.根據權利要求2所述的通過襯底調控電卡性能薄膜的制備方法，其特征在于，步驟1)所述旋涂的轉速為4000～6000rpm，旋涂時間為30～60s。

4.根據權利要求1所述的通過襯底調控電卡性能薄膜的制備方法，其特征在于，步驟2)所述干燥溫度為180～250℃，干燥時間為3～5min；熱解溫度為450～600℃，熱解時間為10～15min；退火溫度為700～800℃，退火時間為5～10min。

5.根據權利要求1-4任一所述的通過襯底調控電卡性能薄膜的制備方法，其特征在于，步驟3)制得具有6層LaNiO₃/襯底的復合基底。

6.根據權利要求1所述的通過襯底調控電卡性能薄膜的制備方法，其特征在于，步驟4)Pb_0.78Ba_0.2La_0.02ZrO₃前驅體溶液制備方法如下：

將原料Pb(CH₃COO)₃、Ba(CH₃COO)₂和C₆H₉O₆La·xH₂O于120℃溶解在冰醋酸和去離子水的第一混合液體中，將Zr(OC₃H₇)₄于室溫溶解在冰醋酸和CH₃COCH₂COCH₃的第二混合液體中，將第一混合液體和第二混合液體于100～150℃攪拌混合30min，并放置24～30h，得到濃度為0.2M的Pb_0.78Ba_0.2La_0.02ZrO₃前驅體溶液。

7.根據權利要求6所述的通過襯底調控電卡性能薄膜的制備方法，其特征在于，步驟4)所述旋涂的轉速為4000～6000rpm，旋涂時間為30～40s。