[發明專利]一種高密度金屬靶材制備工藝

在審

• 申請號: 201911377170.0
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN111004993A
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 藺裕平;韓剛庫
• 申請（專利權）人: 梭萊鍍膜工業(江陰)有限公司
• 主分類號: C23C4/134
• 分類號: C23C4/134;C23C4/06
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王凱

1.一種高密度金屬靶材制備工藝，其特征在于：所述工藝為：將靶材(1)放置于靶材驅動總成上后，先對噴涂密封艙(101)抽真空使得艙內形成壓力為2Pa的密閉真空環境；隨后，靶材驅動總成啟動，驅動靶材旋轉的同時進行左右平移，與此同時，等離子噴槍系統(201)的噴槍開始噴涂對靶材(1)進行噴涂；且在噴涂過程中，紅外溫度傳感器(106)對靶材(1)的表面溫度實時監測，當溫度偏離設定點時，等離子噴槍系統(201)的功率以及其供絲速度隨之調整，從而讓靶材(1)的表面始終保持微熔狀態。

2.如權利要求1所述一種高密度金屬靶材制備工藝，其特征在于：在噴涂時粉塵傳感器(105)將粉塵濃度傳遞至處理器，處理器控制除塵凈化器(104)的伺服電機保證與之匹配的除塵頻率；同時通過真空壓力傳感器(107)和紅外溫度傳感器(106)來調整抽真空機組(103)的輸出功率，確保噴涂過程處于動態平衡。

3.如權利要求1所述一種高密度金屬靶材制備工藝，其特征在于：所述工藝基于一種低真空氛圍靶材制備系統，所述系統包含有噴涂密封艙(101)，所述噴涂密封艙(101)的艙室經過濾器(102)連通至抽真空機組(103)，等離子噴槍系統(201)的噴槍插裝于噴涂密封艙(101)內，所述噴涂密封艙(101)內安裝有靶材驅動總成；

靶材驅動總成包含有位于噴涂密封艙(101)底面上的滑軌(302)，有一滑板(301)滑動行走于滑軌(302)上，滑板(301)內沿其長度方向設置有一螺孔，有一與滑軌(302)平行的絲桿(303)旋置于螺孔內，且安裝于噴涂密封艙(101)底面上的滑移電機(304)驅動絲桿(303)旋轉，從而實現推動滑板(303)水平移動；

所述滑板(301)的右端豎向固定設置有右端板(401)，左端板(402)豎向固定設置于移動板(403)上，所述移動板(403)滑動設置于移動滑軌(404)上，移動滑軌(404)位于滑板(301)上，靶材(1)的兩端通過端頭夾持件(2)分別架設于右端板(401)和左端板(402)上，安裝于滑板(301)上的旋轉電機(405)經端頭夾持件(2)驅動靶材(1)旋轉。

4.如權利要求3所述一種高密度金屬靶材制備工藝，其特征在于：所述噴涂密封艙(101)的艙室的一端經管路連通至除塵凈化器(104)的進氣端，除塵凈化器(104)的出氣端經管路連通至噴涂密封艙(101)的艙室的另一端。

5.如權利要求3所述一種高密度金屬靶材制備工藝，其特征在于：所述噴涂密封艙(101)內壁上安裝有粉塵傳感器(105)、紅外溫度傳感器(106)和真空壓力傳感器(107)。