[發(fā)明專利]一種晶圓裂紋檢查裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911356827.5
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN111007080B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設計）人: 劉劍;侯華
• 申請（專利權）人: 成都先進功率半導體股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01;H01L21/67
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 張立剛

本發(fā)明公開了一種晶圓裂紋檢查裝置，包括底座和設于底座上方的滑板，所述滑板與所述底座滑動連接，使所述滑板能相對底座進行滑動，所述滑板上開設有與滑動方向一致的槽口，所述滑板上方設有回轉環(huán)，所述回轉環(huán)與所述滑板轉動連接，使所述回轉環(huán)能相對滑板進行回轉，所述底座上連有球頭桿，所述球頭桿向上穿過槽口，且所述球頭桿頂部高于回轉環(huán)頂面，還包括設于底座上的顯微鏡，所述顯微鏡的物鏡中心與球頭桿中心重合。本發(fā)明中的檢查裝置能夠?qū)崿F(xiàn)使用低倍顯微鏡的情況下快速檢查出晶圓裂紋，從而提高晶圓整體外觀檢查效率和檢查深度。

技術領域

本發(fā)明涉及半導體生產(chǎn)領域，具體涉及一種晶圓裂紋檢查裝置。

背景技術

晶圓生產(chǎn)和運輸過程中會產(chǎn)生裂紋，晶圓裂紋對產(chǎn)品質(zhì)量影響很大，如器件失效等，因此在晶圓切割過后會對切割分離后的單顆晶圓進行外觀檢查。如圖1所示，在進行晶圓01切割前，需要在晶圓01背面貼上藍膜02，而藍膜02的邊緣則粘在固定環(huán)03上，以便進行晶圓切割及運輸轉移。目前檢查時是直接將固定環(huán)(帶晶圓)放在桌面，然后通過顯微鏡觀察晶圓上是否存在裂紋。由于晶圓裂紋較小，使用高倍顯微鏡檢查可以發(fā)現(xiàn)裂紋，但是會嚴重影響整體外觀檢查效率，而使用低倍顯微鏡雖然效率較高，但很難發(fā)現(xiàn)裂紋。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明目的在于：針對目前在進行晶圓裂紋檢查時，使用高倍顯微鏡檢查可以發(fā)現(xiàn)裂紋，但是會嚴重影響整體外觀檢查效率，而使用低倍顯微鏡雖然效率較高，但很難發(fā)現(xiàn)裂紋的問題，提供一種晶圓裂紋檢查裝置，該裝置能夠?qū)崿F(xiàn)使用低倍顯微鏡的情況下快速檢查出晶圓裂紋，從而提高晶圓整體外觀檢查效率和檢查深度。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術方案為：

一種晶圓裂紋檢查裝置，包括底座和設于底座上方的滑板，所述滑板與所述底座滑動連接，使所述滑板能相對底座進行滑動，所述滑板上開設有與滑動方向一致的槽口，所述滑板上方設有回轉環(huán)，所述回轉環(huán)與所述滑板轉動連接，使所述回轉環(huán)能相對滑板進行回轉，所述底座上連有球頭桿，所述球頭桿向上穿過槽口，且所述球頭桿頂部高于回轉環(huán)頂面，還包括設于底座上的顯微鏡，所述顯微鏡的物鏡中心與球頭桿中心重合。

本發(fā)明通過設置底座和設于底座上方的滑板，所述滑板與所述底座滑動連接，使所述滑板能相對底座進行滑動，所述滑板上開設有與滑動方向一致的槽口，所述滑板上方設有回轉環(huán)，所述回轉環(huán)與所述滑板轉動連接，使所述回轉環(huán)能相對滑板進行回轉，所述底座上連有球頭桿，所述球頭桿向上穿過槽口，且所述球頭桿頂部高于回轉環(huán)頂面，還包括設于底座上的顯微鏡，所述顯微鏡的物鏡中心與球頭桿中心重合；使用時通過將晶圓固定環(huán)放置在回轉環(huán)上，由于球頭桿頂部高于回轉環(huán)頂面，使得球頭桿可以頂起晶圓背面，如果晶圓有裂紋，晶圓裂紋會被放大(完全裂開或裂紋擴大)，就可以很容易通過低倍顯微鏡發(fā)現(xiàn)裂紋，同時借助滑板及回轉環(huán)動作，不斷改變晶圓位置，實現(xiàn)對整個晶圓的檢查；該裝置能夠?qū)崿F(xiàn)使用低倍顯微鏡的情況下快速檢查出晶圓裂紋，從而提高晶圓整體外觀檢查效率和檢查深度。

作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述底座上設有與球頭桿相連的頂升機構，所述頂升機構用于升降球頭桿高度。通過設置頂升機構，以便對球頭桿高度進行微調(diào)，以確保能夠?qū)⒉煌?guī)格的晶圓頂起。

作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述頂升機構包括與底座相連的L型支架，所述L型支架上鉸接有支撐桿，所述球頭桿設于支撐桿一端，所述支撐桿另一端設有調(diào)節(jié)桿，所述調(diào)節(jié)桿用于調(diào)節(jié)支撐桿端部與L型支架的相對距離。該頂升機構采用杠桿原理，通過調(diào)節(jié)桿來改變支撐桿端部與L型支架的相對距離，從而實現(xiàn)支撐桿上與球頭桿相連的一端升高或降低，結構及原理簡單。

作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述底座上設有兩條平行的導軌，所述滑板上對應設有與導軌適配的滑塊。通過在底座上設置導軌，滑板上對應設置適配的滑塊，從而實現(xiàn)滑板相對底座進行滑動。