[發明專利]一種晶圓裂紋檢查裝置

有效

• 申請號: 201911356827.5
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN111007080B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發明（設計）人: 劉劍;侯華
• 申請（專利權）人: 成都先進功率半導體股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01;H01L21/67
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 張立剛

1.一種晶圓裂紋檢查裝置，其特征在于，包括底座和設于底座上方的滑板，所述滑板與所述底座滑動連接，使所述滑板能相對底座進行滑動，所述滑板上開設有與滑動方向一致的槽口，所述滑板上方設有回轉環，所述回轉環與所述滑板轉動連接，使所述回轉環能相對滑板進行回轉，所述底座上連有球頭桿，所述球頭桿向上穿過槽口，且所述球頭桿頂部高于回轉環頂面，還包括設于底座上的顯微鏡，所述顯微鏡的物鏡中心與球頭桿中心重合；所述底座上設有與球頭桿相連的頂升機構，所述頂升機構用于升降球頭桿高度，所述頂升機構包括與底座相連的L型支架，所述L型支架上鉸接有支撐桿，所述球頭桿設于支撐桿一端，所述支撐桿另一端設有調節桿，所述調節桿用于調節支撐桿端部與L型支架的相對距離。

2.根據權利要求1所述的晶圓裂紋檢查裝置，其特征在于，所述底座上設有兩條平行的導軌，所述滑板上對應設有與導軌適配的滑塊。

3.根據權利要求2所述的晶圓裂紋檢查裝置，其特征在于，所述滑板上設有至少三個U槽軸承，所有的U槽軸承沿回轉環周向均布，且所述回轉環外側面與所述U槽軸承相配合。

4.根據權利要求1所述的晶圓裂紋檢查裝置，其特征在于，所述回轉環頂面設有兩個定位柱。

5.根據權利要求4所述的晶圓裂紋檢查裝置，其特征在于，所述回轉環頂面鑲嵌有若干個磁釘。

6.根據權利要求5所述的晶圓裂紋檢查裝置，其特征在于，所述回轉環頂面上設有若干個凹槽。

7.根據權利要求1-6之一所述的晶圓裂紋檢查裝置，其特征在于，所述底座上設有兩個限位塊，所述限位塊用于限定滑板行程。

8.根據權利要求7所述的晶圓裂紋檢查裝置，其特征在于，所述滑板上設有鎖定支架，在鎖定支架上設有與底座相連的鎖緊螺釘。